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J-GLOBAL ID：201302251553530668   整理番号：13A0012242

閉磁路RF平面スパイラルインダクタの漏れ磁束を考慮した一軸磁気異方性薄膜の磁気モーメント制御

Control of Magnetic Moment in Uniaxial Anisotropy Magnetic Thin Film Taking Leakage Flux in RF Planar Spiral Inductors with Closed-Magnetic Core into Account

著者 (3件)： 曽根原誠 (信州大学工学部) ,  池田賢司 (太陽誘電(株) R&Dセンター) ,  佐藤敏郎 (信州大学工学部)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 132  号： 10  ページ： 822-826 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： インダクタ素子の小型化のため閉磁路平面スパイラルインダクタの作製に当たり磁化容易軸方向を導体ラインに対し45度傾ける製膜法を提案し複素透磁率の周波数特性の測定結果を示した。誘導結合型RFスパッタリング装置を用いCoFeSiOグラニュラー層とSiO₂絶縁層を形成し交互に積層する作製方法と試料振動型磁力計と超高周波透磁率測定装置を用いる測定方法を示した。測定結果として複素比透磁率の磁化容易軸方向と測定方向とのなす角θによる周波数特性の関係を示し強磁性共鳴周波数,臨界周波数および強磁性共鳴半値幅がθに依存しないこと,静的比透磁率はsin²θに依存することを示した。平面スパイラルインダクタを模擬した場合での複素比透磁率の周波数特性を示した。

シソーラス用語： *閉路 ,  *磁場 ,  *薄膜インダクタ ,  漏れ磁束 ,  *一軸磁気異方性 ,  *磁性薄膜 ,  *磁気モーメント ,  積層構造 ,  ナノ構造 ,  粒状性 ,  異方性磁場 ,  *透磁率 ,  *ICパッケージ ,  ウエハ【IC】 ,  磁化特性 ,  コバルト化合物 ,  鉄化合物 ,  酸化ケイ素 ,  *周波数特性 ,  共振周波数
準シソーラス用語： RFインダクタ ,  WLCSP ,  グラニュラー薄膜 ,  スパイラルインダクタ ,  ナノグラニュラー薄膜 ,  複素透磁率 ,  閉磁路

分類 (2件)： 磁性材料  (NA04040H) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (19件)：

• (1) T. Ohya, K. Cho, and S. Narahashi : “Key Wireless Technologies for Future High-speed and Large-capacity Communications”, NTT DOCOMO Technical Journal, Vol. 10, No. 2, pp. 23-30 (2008)
• (2) T. Okada : “Mobile Terminal RF Circuit Technology for Increasing Capacity/Coverage and International Roaming”, NTT DOCOMO Technical Journal, Vol. 10, No. 2, pp. 47-56 (2008)
• (3) N. Hashimoto, S. Tanaka, S. Ogaya, and H. Ito : “Development of Resin Stress Buffer Layer Type Wafer Level Chip Size Package with High Reliability for Board Level Test”, J. Jpn Inst. Electron. Packaging, Vol. 11, No. 1, pp. 84-92 (2008) (in Japanese)
• 橋元伸晃・田中秀一・大栢俊平・伊東春樹:「高い2次実装信頼性を有する樹脂応力緩和層型ウエハレベルチップサイズパッケージの開発」,エレクトロニクス実装学誌,Vol. 11, No. 1, pp. 84-92 (2008)
• (4) K. Ikeda, T. Suzuki, T. Maruyama, T. Minemura, M. Sonehara, and T. Sato : “Double Spiral Inductors Using CoFeSiO/SiO₂ Multilayer Granular Films with Very Narrow Ferromagnetic Resonance Bandwidth”, J. Magn. Soc. Jpn, Vol. 34, No. 2, pp. 123-130 (2010) (in Japanese)

タイトルに関連する用語 (6件)： RF ,  スパイラルインダクタ ,  漏れ磁束 ,  一軸磁気異方性 ,  薄膜 ,  磁気モーメント