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J-GLOBAL ID：201302255335603705   整理番号：13A1602809

電極加熱による低発塵コロナ放電式イオナイザーの開発

Development of Low-particle-emission Corona Discharge Ionizer by Electrode Heating

著者 (3件)： 佐藤朋且 (テクノ菱和) ,  鈴木政典 (テクノ菱和) ,  水野彰 (豊橋技科大)
資料名： 静電気学会誌  (Journal of the Institute of Electrostatics Japan)
巻： 37  号： 5  ページ： 215-220  発行年： 2013年09月30日 
JST資料番号： S0175A  ISSN： 0386-2550  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液晶製造等のためのクリーンルームの静電気除去(除電)に用いるイオナイザの発塵を抑制するため,電極加熱低発塵イオナイザを考案した。発塵の原因と考えた,イオナイザ電極への異物(シロキサン)析出を,電極加熱によって得られる熱泳動力によって抑制できるか調べた。微粒子付着の抑制が可能な熱泳動力を得るための温度勾配を計算し,0.001μmの粒子の場合電極と周囲の空間の間に100°C程度の温度差を形成すればよいことが分かった。

シソーラス用語： 装置 ,  コロナ放電 ,  *除去 ,  発生 ,  シロキサン ,  温度勾配 ,  クリーンルーム ,  熱泳動 ,  温度分布 ,  付着
準シソーラス用語： *イオナイザ ,  インダストリアルクリーンルーム ,  温度差 ,  *静電気除去 ,  発塵

分類 (2件)： 放電装置  (BJ03040P) ,  空気浄化  (PC02060X)

引用文献 (13件)：

• 並木則和. クリーンルーム環境におけるガス-粒子変換. クリーンテクノロジー. 1994, 4, 7, 67
• 鈴木政典. 無発塵空気イオン化システムの開発. 空気清浄. 1989, 26, 5, 48
• 鈴木佐夜香. すすの熱泳動挙動の予測手法に関する研究. 日本燃焼学会誌. 2010, 52, 159, 68
• LIU, B. Y. H. Proceeding of 33rd Annual Technical Meeting of the IES, May. 1987, 461
• SPARROW, E. M. Local everage heat transfer characteristics for a disk situated perpendicular to a uniform flow. J. Heat Transfer. 1985, 107, 321

タイトルに関連する用語 (3件)： 発塵 ,  コロナ放電 ,  開発