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J-GLOBAL ID：201302280824800909   整理番号：13A0729503

超精密ステージにおけるオイラーの運動方程式の非線形性と軸間干渉を補償した姿勢制御の一提案

Proposal of Attitude Control for High-Precision Stage by Compensating Nonlinearity and Coupling of Euler’s Equation

著者 (6件)： 大西亘 (東大) ,  藤本博志 (東大) ,  堀洋一 (東大) ,  坂田晃一 (ニコン) ,  鈴木一弘 (ニコン) ,  佐伯和明 (ニコン)
資料名： 電気学会産業計測制御研究会資料  (Papers of Technical Meeting on Industrial Instrumentation and Control and Mechatronics Control, IEE Japan)
巻： IIC-13  号： 89-90.92-101.103-110  ページ： 67-72  発行年： 2013年03月07日 
JST資料番号： X0577A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密ステージは,半導体や液晶パネルの製造に欠かせない装置であった。本稿では,回転運動における動力学と運動学の,オイラーの運動方程式および座標系の回転に起因する回転運動の,非線形性と軸間干渉を予め補償した離散系のフィードフォワード(FF)制御器を提案した。従来法では,FF制御装置による干渉をフィードバック制御装置が補償する必要があるため,遅れやオーバーシュートを伴うの問題があり,追従精度が悪化した。それで,提案したFF制御装置により非線形性と軸間干渉を補償可能であることをシミュレーションによって示した。さらに,従来FF制御装置を用いた2自由度制御系と,提案したFF制御装置を用いた2自由度制御系とを構成し,姿勢制御の比較実験を行い,提案した方法の有効性を示した。

シソーラス用語： *超精密加工 ,  *Euler方程式 ,  運動方程式 ,  非線形性 ,  *姿勢制御 ,  回転 ,  動力学 ,  運動学 ,  座標系 ,  離散系 ,  フィードフォワード制御 ,  フィードフォワード ,  制御装置 ,  フィードバック ,  遅れ ,  オーバシュート ,  シミュレーション
準シソーラス用語： オイラー方程式 ,  二自由度制御 ,  干渉抑圧

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (9件)：

• (1) K. Saiki, "Call me Mr. Control Guy!," ISCIE Journal 'Systems, Control and Information', vol. 52, no. 12, pp. 463-466, 2008 (in Japanese).
• (2) H. Fujimoto, Y. Hori, and A. Kawamura, "Perfect tracking control based on multirate feedforward control with generalized sampling periods," IEEE Trans. Industrial Electronics, vol. 48, no. 3, pp. 636-644, 2001.
• (3) K. Saiki, A. Hara, K. Sakata, and H. Fujimoto, "A Study on High-Speed and High-Precision Tracking Control of Large-Scale Stage Using Perfect Tracking Control Method Based on Multirate Feedforward Control," IEEE Trans. Industrial Electronics, vol. 57, no. 4, DD. 1393-1400, 2010.
• (4) I. Yamaguchi, T. Kida, O. Okamoto, and Y. OOkami, "Quaternion and Euler Angles in Kinematics," Technical Memorandum of National Aerospace Laboratory, vol. 636, pp. 1-15, 1991.
• (5) S. Wakui, "Application of Complete Decoupling Control for an Active Vibration Isolation System with 4-Degree-of-Freedom," Trans. IEE of Japan. IA, vol. 113, no. 12, pp. 1485-1486, 1993 (in Japanese).

タイトルに関連する用語 (7件)： 超精密 ,  ステージ ,  非線形性 ,  干渉 ,  補償 ,  姿勢制御 ,  提案