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J-GLOBAL ID：201302292718941674   整理番号：13A0680683

シートナノインプリント法による長さ15mの重合体シート上への200nmのドット・パターンの製作

Fabrication of 200-nm Dot Pattern on 15-m-Long Polymer Sheet Using Sheet Nanoimprint Method

著者 (5件)： OGINO Masahiko (Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN) ,  HASEGAWA Mitsuru (Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN) ,  SAKAUE Keiji (Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd., Niigata, JPN) ,  NAGAI Shuuichi (Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd., Niigata, JPN) ,  MIYAUCHI Akihiro (Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52  号： 3,Issue 1  ページ： 035201.1-035201.4  発行年： 2013年03月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ベルト状のナノモールドを導入することにより,加熱,プレス,冷却,及び分離の4つの基本的なステップの連続処理を可能にする,シートナノインプリントシステムを,提案し,開発した。この研究では,シートナノインプリント方法を使用することによって,重合体膜上にドット・パターン作製することを試みた。直径200nm,高さ240nmのドット(ア比1.4)を,直接長さ15mのポリスチレン膜上に形成した。シートナノインプリントは,熱可塑性の膜上にナノスケールパターンをダイレクトパターニングできる魅力的な方法であることを示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *押付成形 ,  *高分子薄膜 ,  画像 ,  熱塑性 ,  ポリスチレン ,  *パターン形成
準シソーラス用語： ドットパターン ,  *ナノインプリント ,  熱可塑性

分類 (1件)： 印刷技術一般  (ZA05010T)

引用文献 (34件)：

• 1) S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstorm: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 3114.
• 2) S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom: Science 272 (1996) 85.
• 3) S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom: J. Vac. Sci. Technol. B 14 (1996) 4129.
• 4) S. Y. Chou, P. R. Krauss, W. Zhang, L. Guo, and L. Zhuang: J. Vac. Sci. Technol. B 15 (1997) 2897.
• 5) S. Y. Chou and P. R. Krauss: Microelectron. Eng. 35 (1997) 237.

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノインプリント ,  重合体シート ,  ドット ,  製作