赤外線サーマルディテクタ及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八田国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-225216
公開番号（公開出願番号）：特開2013-083651
出願日： 2012年10月10日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
要約：

【課題】赤外線サーマルディテクタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】赤外線サーマルディテクタ10は、基板20と、検知部30と、サーマルレッグ50とを含む。検知部30は、基板20から離隔され、入射される赤外線光を、局部的な表面プラズモン共鳴を介して吸収し、吸収された赤外線による温度変化によって、抵抗値が変わるように設けられサーマルレッグ50は、検知部30からの信号を基板20に伝達する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板から離隔されており、入射される赤外線光を、局部的な表面プラズモン共鳴を介して吸収し、吸収された赤外線による温度変化によって、抵抗値が変わるように設けられた検知部と、前記検知部からの信号を前記基板に伝達するサーマルレッグと、を含む赤外線サーマルディテクタ。

IPC (3件)：

G01J 1/02 , G01J 5/20 , H01L 37/00

FI (4件)：

G01J1/02 C , G01J1/02 R , G01J5/20 , H01L37/00

Fターム (10件)：

2G065AA11 , 2G065AB02 , 2G065BA12 , 2G065BA14 , 2G065BA34 , 2G065DA18 , 2G065DA20 , 2G066BA09 , 2G066BA55 , 2G066CA02

引用特許：

審査官引用 (5件)

半導体光素子および半導体光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-250247 出願人：三菱電機株式会社
放射温度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-034975 出願人：富士写真フイルム株式会社
熱型赤外線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-042222 出願人：日本電気株式会社

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