特許
J-GLOBAL ID:201303001558129217

洗浄方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 秋田 収喜 ,  近野 恵一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-198329
公開番号(公開出願番号):特開2013-059711
出願日: 2011年09月12日
公開日(公表日): 2013年04月04日
要約:
【課題】効率良く、UV樹脂をはがし取ることが可能なドライアイスペレットを用いた洗浄方法を提供する。【解決手段】固定治具に固定される洗浄対象物に対して、ドライエアーを用いて、ドライアイスペレットを吹き付け、前記対象物の表面を洗浄する。前記ドライエアーは、露点が、-60°ないし-80°である。前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記対象物の表面に噴射するノズルを有し、前記ノズルと前記対象物の表面との間の間隔は、5mmないし70mmである。前記ノズルの断面形状は、円形形状、あるいは、楕円形状、あるいは長方形である。前記ドライアイスペレットは、直径が1mmないし3mmで、長さが1mmないし5mm、より好ましくは、長さが1mmないし5mmである。前記対象物は、製品分解後の液晶表示パネルの上偏光板、タッチパネル、あるいは、フロントウィンドウのいずれかである。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
固定治具に固定される洗浄対象物を洗浄する洗浄方法であって、 ドライエアーを用いて、ドライアイスペレットを前記洗浄対象物の表面に吹き付け、前記対象物の表面を洗浄することを特徴とする洗浄方法。
IPC (1件):
B08B 5/02
FI (1件):
B08B5/02 Z
Fターム (10件):
3B116AA01 ,  3B116AA47 ,  3B116AB01 ,  3B116BA06 ,  3B116BB22 ,  3B116BB38 ,  3B116BB88 ,  3B116BB90 ,  3B116CA03 ,  3B116CD43
引用特許:
審査官引用 (18件)
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