特許
J-GLOBAL ID：201303007435136420

光酸発生剤のブレンドを含むフォトレジスト組成物

発明者：
ジェームズ・エフ・キャメロン

ジェームズ・エフ・キャメロン について

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ジェームズ・マイケル・モリ

ジェームズ・マイケル・モリ について

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ジョージ・ダブリュー・オースラ

ジョージ・ダブリュー・オースラ について

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ジェームズ・ダブリュー・サッカレー

ジェームズ・ダブリュー・サッカレー について


出願人/特許権者：
ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.

ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. について


代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-166405
公開番号（公開出願番号）：特開2013-232016
出願日： 2013年08月09日
公開日（公表日）： 2013年11月14日
要約：
【課題】樹脂バインダーおよび光酸発生剤のブレンドを含む新しいフォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】樹脂バインダーおよび、組成物の露光されたコーティング層を現像することができるのに十分な量の光酸発生化合物の混合物を含み、該光酸発生化合物の混合物は、第1の光酸発生剤および第2の光酸発生剤を含み、第1および第2の光酸発生剤は、光活性化されると、少なくとも約0.5だけpKa値が異なる第1の光酸および第2の光酸をそれぞれ発生するフォトレジスト組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
a)アルキルアクリレート単位を含む樹脂バインダー、および b)該組成物の露光されたコーティング層を現像するのに十分な量の光酸発生化合物の混合物であって、 該光酸発生化合物の混合物は、第1および第2の光酸発生化合物を含み、該第1および第2の光酸発生化合物は、光活性化により、それぞれ第1および第2の光酸を生成し、 該第1および第2の光酸発生化合物により発生した光酸は、パーフルオロオクタンスルホン酸、パーフルオロヘキサンスルホン酸、パーフルオロ(4-エチル)シクロヘキサンスルホン酸、または電子吸引基で置換されている芳香族スルホン酸を含み、 該第1および第2の光酸の大きさが少なくとも40立方オングストローム異なる光酸発生化合物の混合物 を含む、化学的に増幅されたポジ型フォトレジスト組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  C08F 20/18
FI (3件)：
G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  C08F20/18
Fターム (37件)：
2H125AF27P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF70P ,  2H125AH12 ,  2H125AJ13Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ48Y ,  2H125AM27P ,  2H125AM86P ,  2H125AN25P ,  2H125AN57P ,  2H125AN67P ,  2H125BA26P ,  2H125BA28P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CA22 ,  2H125CA24 ,  2H125CB08 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125CD01P ,  2H125CD05P ,  2H125CD35 ,  4J100AA15S ,  4J100AA20S ,  4J100AB02Q ,  4J100AB04Q ,  4J100AB07R ,  4J100AJ02S ,  4J100AL03P ,  4J100AL04S ,  4J100AL08S ,  4J100BA03R ,  4J100BC12S
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (12件)
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