特許
J-GLOBAL ID：201303010654722718

資源再利用装置、処理装置群コントローラ、資源再利用システム、資源再利用方法、及び資源再利用プログラム

発明者：
伊 藤 孝 浩

伊 藤 孝 浩 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (5件)： 勝沼 宏仁 ,  佐藤 泰和 ,  川崎 康 ,  関根 毅 ,  赤岡 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-257685
公開番号（公開出願番号）：特開2013-115117
出願日： 2011年11月25日
公開日（公表日）： 2013年06月10日
要約：
【課題】排熱等の使用済み資源を回収して生成した再利用資源を有効活用して、エネルギー消費量の低減も図る。【解決手段】資源再利用装置6は、被処理体を処理する複数の処理装置それぞれから排出された使用済み資源を回収する資源回収部34,35,36と、 資源回収部で回収された資源から再利用資源を生成する資源生成部31,31,32と、複数の処理装置それぞれの種類と、被処理体の処理工程ごとに複数の処理装置で行われる処理内容と、複数の処理装置の稼働状況および稼働予定とに基づいて、複数の処理装置に再利用資源を振り分ける資源振分部37,38,39,40,41,42と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被処理体を処理する複数の処理装置それぞれから排出された使用済み資源を回収する資源回収部と、 前記資源回収部で回収された資源から再利用資源を生成する資源生成部と、 前記複数の処理装置それぞれの種類と、前記被処理体の処理工程ごとに前記複数の処理装置で行われる処理内容と、前記複数の処理装置の稼働状況および稼働予定とに基づいて、前記複数の処理装置に前記再利用資源を振り分ける資源振分部と、を備える資源再利用装置。
IPC (4件)：
H01L 21/02 ,  C02F 1/00 ,  B09B 5/00 ,  G05B 19/418
FI (4件)：
H01L21/02 Z ,  C02F1/00 J ,  B09B5/00 C ,  G05B19/418 Z
Fターム (10件)：
3C100AA29 ,  3C100BB03 ,  3C100BB05 ,  3C100BB13 ,  3C100BB33 ,  3C100EE06 ,  4D004AA21 ,  4D004AC04 ,  4D004CA07 ,  4D004DA16
引用特許：
審査官引用 (5件)
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