カーボンナノチューブ形成装置、カーボンナノチューブ形成方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：石島茂男 , 阿部英樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-224097
公開番号（公開出願番号）：特開2008-044828
特許番号：特許第4919272号
出願日： 2006年08月21日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空槽と、前記真空槽内に配置され、基板が載置される下部電極と、前記下部電極と対面する位置に配置された上部電極と、前記下部電極と前記上部電極の間に位置し、複数の通気孔が形成された中間電極と、前記真空槽内の前記上部電極と前記中間電極の間に炭化水素ガスを導入する原料ガス導入系と、前記上部電極に接続され、前記中間電極に対する正電圧と負電圧を、前記上部電極に交互に印加する電源装置とを有し、前記正電圧の絶対値の方が、前記負電圧の絶対値よりも大きくされたカーボンナノチューブ形成装置。

IPC (1件)：