特許
J-GLOBAL ID:201303012339522037
偏光素子、および偏光素子の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-066922
公開番号(公開出願番号):特開2013-200339
出願日: 2012年03月23日
公開日(公表日): 2013年10月03日
要約:
【課題】高温信頼性に優れたワイヤーグリッド型の偏光素子を提供する。【解決手段】本発明の偏光素子は、基板111Aの一面111Bに一の方向に延在する複数の金属細線118Aと、複数の金属細線118Aの上に設けられた保護層113と、互いに隣り合う2本の金属細線118Aと基板111Aと保護層113とによって囲まれる空洞部118Bと、を備える。金属細線118Aの端部120は、一の方向の断面において順テーパ形状を有し、保護層113は、端部120を介して複数の金属細線118Aの上から基板の一面111Bまで延在している。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板の一面上に一の方向に延在する複数の金属細線と、該複数の金属細線の上に設けられた保護層と、該複数の金属細線のうち互いに隣り合う2本の金属細線と該基板と該保護層とによって囲まれる空洞部と、を備え、
前記複数の金属細線各々の端部は、前記一の方向の断面において順テーパ形状を有し、
前記保護層は、前記複数の金属細線各々の端部を介して、前記複数の金属細線の上から前記基板の一面まで延在している、
ことを特徴とする偏光素子。
IPC (3件):
G02B 5/30
, G02F 1/133
, G03B 21/14
FI (3件):
G02B5/30
, G02F1/1335 510
, G03B21/14 Z
Fターム (22件):
2H149AA17
, 2H149AB13
, 2H149AB26
, 2H149BA04
, 2H149BA23
, 2H149FA41W
, 2H149FA41X
, 2H191FA11X
, 2H191FA28X
, 2H191FA28Z
, 2H191FC04
, 2H191FC10
, 2H191LA04
, 2H191LA09
, 2H191MA13
, 2K103AA00
, 2K103AA01
, 2K103AA05
, 2K103AA11
, 2K103AB10
, 2K103BC14
, 2K103CA18
引用特許: