特許
J-GLOBAL ID：201303016552854375

X線検査装置

発明者：
細川 好則

細川 好則 について


出願人/特許権者：
株式会社エックスレイプレシジョン

株式会社エックスレイプレシジョン について


代理人 (1件)： 渡辺 三彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-017452
公開番号（公開出願番号）：特開2013-156172
出願日： 2012年01月31日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：
【課題】 被検査対象物に含まれる金(Au)の形状及び含有量を迅速且つ高精度に非破壊で計測することができるX線検査装置を提供する。【解決手段】 被検査対象物Wに90keV以上のX線を照射するX線発生器4と、被検査対象物Wを透過したX線を検出するX線検出器6,7と、該X線検出器6,7で検出されたX線信号に基づいて前記被検査対象物Wに含まれるAuの形状及び含有量を計測する演算部8とを備え、X線検出器6,7と被検査対象物Wの間にはAuフィルタ6とPtフィルタ7がそれぞれ設けられ、X線検出器6,7は、X線発生器4から照射され被検査対象物W及びAuフィルタ6を透過したX線とX線発生器4から照射され被検査対象物W及びPtフィルタ7を透過したX線をそれぞれ検出し、演算部8はそれぞれのX線信号に基づいて被検査対象物Wに含まれるAuの形状及び含有量を計測するX線検査装置1。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査対象物に90keV以上のX線を照射するX線発生器と、前記被検査対象物を透過したX線を検出するX線検出器と、該X線検出器で検出されたX線信号に基づいて前記被検査対象物に含まれる金(Au)の形状及び含有量を計測する演算部と、を備えるX線検査装置であって、 前記X線検出器と前記被検査対象物の間には、Auによって形成される第1のフィルタとPt又はPtより低原子番号の材料によって形成される第2のフィルタがそれぞれ設けられ、 前記X線検出器は、前記X線発生器から照射され前記被検査対象物及び前記第1のフィルタを透過したX線と前記X線発生器から照射され前記被検査対象物及び前記第2のフィルタを透過したX線をそれぞれ検出し、 前記演算部は、前記X線検出器によって検出されたそれぞれのX線信号に基づいて前記被検査対象物に含まれるAuの形状及び含有量を計測することを特徴とするX線検査装置。
IPC (1件)：
G01N 23/04
FI (1件)：
G01N23/04
Fターム (16件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001EA07 ,  2G001EA20 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001JA09 ,  2G001KA01 ,  2G001LA03 ,  2G001LA07 ,  2G001LA11 ,  2G001NA12 ,  2G001PA11
引用特許：
審査官引用 (11件)
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