特許
J-GLOBAL ID：201303016576763109
分析装置及び分析方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-089059
公開番号（公開出願番号）：特開2013-242302
出願日： 2013年04月22日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：
【課題】試料の中に含まれる化合物を、より正確に分析する。【解決手段】TOF-SIMSを用いた分析法であって、試料に対して、第1の一次イオンを照射し第1のスペクトルデータを得、第2の一次イオンを照射して第2のスペクトルデータを得、前記第1の一次イオンは、前記第2の一次イオンよりも、前記試料が有する分子の分子構造を破壊する割合が高く、イオンを用いて前記試料の表面をエッチングした後で、前記第1の一次イオン、または、前記第2の一次イオンを前記試料の表面に照射する分析方法を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1のイオン源と、第2のイオン源とを有する分析装置であって、
前記第1のイオン源は、試料に第1の一次イオンを照射する機能を有し、
前記第2のイオン源は、前記試料を深さ方向にエッチングする機能と、前記試料に第2の一次イオンを照射する機能とを有することを特徴とする分析装置。
IPC (4件)：
G01N 27/62
, H01J 49/40
, H01J 49/10
, H01J 37/252
G01N27/62 V
, G01N27/62 K
, G01N27/62 D
, H01J49/40
, H01J49/10
, H01J37/252 B
2G041CA01
, 2G041DA16
, 2G041GA06
, 5C033QQ09
, 5C038GG13
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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