特許
J-GLOBAL ID：201303018227616320

光学フィルターデバイス、及び光学フィルターデバイスの製造方法

発明者：
松野 靖史

松野 靖史 について

, 
佐野 朗

佐野 朗 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-029864
公開番号（公開出願番号）：特開2013-167701
出願日： 2012年02月14日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：
【課題】干渉フィルターの反射膜の反りを抑制可能な光学フィルターデバイス、及び光学フィルターデバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】 光学フィルターデバイス600は、干渉フィルター5と、筐体601と、を具備する。干渉フィルター5は、固定基板51、固定基板51と接合された可動基板52、固定基板51に設けられた固定反射膜、及び可動基板52に設けられて前記固定反射膜に反射膜間ギャップを介して対向する可動反射膜を備える。筐体601は、干渉フィルター5を配置可能なベース基板610を備える。可動基板52とベース基板610との間には、固定部材7が配置されている。可動基板52は、可動基板52を基板厚み方向から見る平面視で、前記可動反射膜が設けられた領域を除く一箇所において固定部材7によってベース基板610に固定されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第一基板、前記第一基板に対向して配置されて前記第一基板と接合された第二基板、前記第一基板に設けられた第一反射膜、及び前記第二基板に設けられて前記第一反射膜に反射膜間ギャップを介して対向する第二反射膜を備えた干渉フィルターと、 前記干渉フィルターを収納する筐体と、 を具備し、 前記筐体は、前記干渉フィルターを配置可能なベース基板を備え、 前記第二基板と前記ベース基板との間には、前記第二基板を前記ベース基板に固定する固定部材が配置され、 前記第二基板は、前記第二基板を基板厚み方向から見る平面視で、前記第二反射膜が設けられた領域を除く一箇所において前記固定部材によって固定されている ことを特徴とする光学フィルターデバイス。
IPC (7件)：
G02B 26/00 ,  G01J 3/26 ,  G01J 3/51 ,  G01N 21/61 ,  G01N 21/35 ,  B81B 3/00 ,  B81C 3/00
FI (7件)：
G02B26/00 ,  G01J3/26 ,  G01J3/51 ,  G01N21/61 ,  G01N21/35 Z ,  B81B3/00 ,  B81C3/00
Fターム (73件)：
2G020AA03 ,  2G020AA08 ,  2G020CB06 ,  2G020CB43 ,  2G020CC23 ,  2G020CC26 ,  2G020CC28 ,  2G020CC55 ,  2G020CC63 ,  2G020CD12 ,  2G020DA02 ,  2G020DA03 ,  2G020DA22 ,  2G020DA31 ,  2G020DA34 ,  2G020DA35 ,  2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB01 ,  2G059BB08 ,  2G059BB11 ,  2G059BB12 ,  2G059BB13 ,  2G059CC16 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE03 ,  2G059EE12 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM10 ,  2G059PP04 ,  2H141MA22 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD04 ,  2H141ME01 ,  2H141ME04 ,  2H141ME09 ,  2H141ME24 ,  2H141ME25 ,  2H141MF04 ,  2H141MF17 ,  2H141MG09 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ22 ,  2H141MZ28 ,  2H141MZ30 ,  3C081BA28 ,  3C081BA45 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA05 ,  3C081CA32 ,  3C081EA05 ,  3C081EA08 ,  4C038FF01 ,  4C038FG01 ,  4C038KK00 ,  4C038KL05 ,  4C038KL07 ,  4C038KM01 ,  4C038KX04 ,  4C038VA07 ,  4C038VB04 ,  4C038VB13 ,  4C038VC02 ,  4C038VC05
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (12件)
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