特許
J-GLOBAL ID:201303021143725796
粘着テープ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
荒船 博司
, 荒船 良男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-008943
公開番号(公開出願番号):特開2013-214720
出願日: 2013年01月22日
公開日(公表日): 2013年10月17日
要約:
【課題】ワークの周縁部でのチップ飛びを防止する。【解決手段】粘着テープ1は、ワークとしてのウエハが貼り付けられる粘着剤層20と、粘着剤層20を支持する基材フィルム10とを備える。粘着剤層20には、ウエハの周縁部に対応する強粘着領域21と、ウエハからチップが形成される部位に対応する内部領域24とがあり、強粘着領域21の粘着力を(A)と、内部領域24の粘着力を(B)とした場合に、各領域の粘着力が式(1-1)の条件を満たしている。 (A)>(B) ... (1-1)【選択図】図1
請求項(抜粋):
ワークが貼り付けられる粘着剤層と、
前記粘着剤層を支持する基材フィルムとを備え、
前記粘着剤層には、前記ワークの周縁部に対応する第1の領域と、前記ワークからチップが形成される部位に対応する第2の領域とがあり、
前記第1の領域の粘着力を(A)と、前記第2の領域の粘着力を(B)とした場合に、各領域の粘着力が式(1-1)の条件を満たしていることを特徴とする粘着テープ。
(A)>(B) ... (1-1)
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (8件):
4J004AB01
, 4J004AB05
, 4J004AB07
, 4J004CA01
, 4J004CB03
, 4J004CC02
, 4J004CE01
, 4J004FA08
引用特許: