特許
J-GLOBAL ID:201303021143725796

粘着テープ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 荒船 博司 ,  荒船 良男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-008943
公開番号(公開出願番号):特開2013-214720
出願日: 2013年01月22日
公開日(公表日): 2013年10月17日
要約:
【課題】ワークの周縁部でのチップ飛びを防止する。【解決手段】粘着テープ1は、ワークとしてのウエハが貼り付けられる粘着剤層20と、粘着剤層20を支持する基材フィルム10とを備える。粘着剤層20には、ウエハの周縁部に対応する強粘着領域21と、ウエハからチップが形成される部位に対応する内部領域24とがあり、強粘着領域21の粘着力を(A)と、内部領域24の粘着力を(B)とした場合に、各領域の粘着力が式(1-1)の条件を満たしている。 (A)>(B) ... (1-1)【選択図】図1
請求項(抜粋):
ワークが貼り付けられる粘着剤層と、 前記粘着剤層を支持する基材フィルムとを備え、 前記粘着剤層には、前記ワークの周縁部に対応する第1の領域と、前記ワークからチップが形成される部位に対応する第2の領域とがあり、 前記第1の領域の粘着力を(A)と、前記第2の領域の粘着力を(B)とした場合に、各領域の粘着力が式(1-1)の条件を満たしていることを特徴とする粘着テープ。 (A)>(B) ... (1-1)
IPC (2件):
H01L 21/301 ,  C09J 7/02
FI (2件):
H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z
Fターム (8件):
4J004AB01 ,  4J004AB05 ,  4J004AB07 ,  4J004CA01 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004CE01 ,  4J004FA08
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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