特許
J-GLOBAL ID：201303022088358920

基板処理システムにおける材料蒸着方法及び装置

発明者：
ジョン ヴィンセント シュミット

ジョン ヴィンセント シュミット について

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シー ハン リー

シー ハン リー について

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クリストフ マルカダル

クリストフ マルカダル について

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アンゾン チャン

アンゾン チャン について

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リン チェン

リン チェン について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (6件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-260322
公開番号（公開出願番号）：特開2013-064200
出願日： 2012年11月28日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：
【課題】堆積チャンバ及び上記チャンバに結合されている蒸発器を備え、化学蒸着を遂行するための堆積システムを提供する。【解決手段】1つの面において、蒸発器は、キャリヤーガスと液体前駆体とを混合するための比較的短い混合用通路を有している。混合用通路は、液体前駆体の細かいエアロゾル状の分散体を発生し、この分散体はホットプレートに280よって気化される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
キャリヤーガス源、液体先駆物質源、及び化学蒸着を遂行する堆積チャンバと共に使用するための蒸発器であって、 出口及び入口を有する空洞を限定しているバルブボディを備え、上記バルブボディは、上記空洞入口に結合され且つキャリヤーガス及び液体先駆物質の流れを上記空洞入口へ運ぶための第1の通路を更に限定し、上記第1の通路は液体前駆物質入口を有し且つ幅W及び上記液体前駆物質入口と上記空洞入口との間の長さLとを限定し、上記バルブボディは、上記第1の通路の液体前駆物質入口に結合され且つ液体先駆物質の流れを上記第1の通路へ運ぶための第2の通路と、上記第1の通路に結合され且つキャリヤーガスの流れを上記第1の通路へ運ぶための第3の通路とを更に限定し、上記第1の通路は、上記液体先駆物質入口を通過するキャリヤーガスの流れを方向づけて、キャリヤーガスの流れが上記液体前駆物質の流れを剪断して液体前駆物質を小滴にし、上記液体先駆物質の小滴と上記キャリヤーガスの両者が混合した流れが上記液体前駆物質入口と上記空洞入口との間で形成されるような形状とされ、上記液体前駆物質入口と上記空洞入口との間の上記第1の通路の上記長さLと上記幅Wとの比は20:1を越えることはなく、上記空洞は、上記キャリヤーガスが上記空洞により膨張して上記液体先駆物質の小滴を分散させることができるような形状であり、上記蒸発器は、更に、上記空洞出口に対面し、分散された液体前駆物質を気化した材料に気化するホットプレートを更に備える、 ことを特徴とする蒸発器。
IPC (1件)：
C23C 16/448
FI (1件)：
C23C16/448
Fターム (13件)：
4K030AA11 ,  4K030AA16 ,  4K030BA01 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA01 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030GA02 ,  4K030JA03 ,  4K030KA02 ,  4K030KA23 ,  4K030LA15
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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