白色光干渉測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高矢諭 , 松山圭佑 , 牧野剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-059993
公開番号（公開出願番号）：特開2013-195114
出願日： 2012年03月16日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
要約：

【課題】測定ワークの配置方向の違いによって生じる測定値の差異を低減し、測定精度及び測定効率の向上が可能になる。【解決手段】白色光束108を出射する白色光源106と、白色光束108を反射させるビームスプリッタ116と、ビームスプリッタ116で反射された白色光束108を光軸Oの方向で集光して測定ワーク102に照射するとともに測定ワーク102から反射して得られる測定光束と測定ワーク102に集光される白色光束108から分岐して得られる参照光束とを干渉させる干渉対物レンズ120と、を有する白色光干渉測定装置100において、白色光源106と干渉対物レンズ120との間に、干渉対物レンズ120に入射する白色光束108を円偏光Cplに補正する偏光補正部112を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

白色光束を出射する白色光源と、該白色光束を反射させるビームスプリッタと、該ビームスプリッタで反射された該白色光束を光軸の方向で集光して測定ワークに照射するとともに該測定ワークから反射して得られる測定光束と該測定ワークに集光される該白色光束から分岐して得られる参照光束とを干渉させる干渉対物レンズと、を有する白色光干渉測定装置において、前記白色光源と前記干渉対物レンズとの間に、該干渉対物レンズに入射する前記白色光束を円偏光に補正する偏光補正手段を備えることを特徴とする白色光干渉測定装置。

IPC (2件)：

G01B 9/02 , G01B 11/24

FI (2件)：

G01B9/02 , G01B11/24 D

Fターム (28件)：

2F064DD01 , 2F064DD08 , 2F064EE01 , 2F064EE10 , 2F064FF07 , 2F064GG00 , 2F064GG22 , 2F064GG33 , 2F064GG38 , 2F064GG44 , 2F064HH08 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065FF52 , 2F065GG02 , 2F065GG24 , 2F065HH02 , 2F065HH03 , 2F065HH10 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL33 , 2F065LL36 , 2F065LL46 , 2F065MM02 , 2F065PP02 , 2F065PP12

引用特許：

審査官引用 (5件)

オブジェクト表面の特徴を求める干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-268962 出願人：ザイゴコーポレーション
位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-052598 出願人：株式会社ニコン
表面特性測定装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2011-545802 出願人：ユニヴァーシティオブハダーズフィールド

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