特許
J-GLOBAL ID:201303023354899742

スポットサイズ変換器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 山川 政樹 ,  山川 茂樹 ,  小池 勇三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-203210
公開番号(公開出願番号):特開2013-064852
出願日: 2011年09月16日
公開日(公表日): 2013年04月11日
要約:
【課題】基板吸収損失を低減する。【解決手段】スポットサイズ変換器は、アンダークラッドとなるBOX層5と、第1のシリコンコア6と、テーパ部7と、第2のシリコンコア8と、オーバークラッド9とを備える。BOX層5と第1のシリコンコア6とオーバークラッド9とは、第1のシリコン細線光導波路1を構成し、BOX層5とテーパ部7とオーバークラッド9とは、テーパ構造部2を構成し、BOX層5と第2のシリコンコア8とオーバークラッド9とは、第2のシリコン細線光導波路3を構成する。オーバークラッド9の屈折率は、アンダークラッドとなるBOX層5の屈折率よりも大きい。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
シリコン細線光導波路と、結合対象となる光ファイバまたは光導波路とを結合するスポットサイズ変換器において、 シリコン支持基板上に形成された平板状のアンダークラッドと、 このアンダークラッド上に形成された第1のシリコンコアと、 前記アンダークラッド上に前記第1のシリコンコアの端部と連結するように形成され、先端に向かって幅が漸次細くなるシリコンからなるテーパ部と、 前記アンダークラッド上に前記テーパ部の端部と連結するように形成された第2のシリコンコアと、 前記第1のシリコンコアと前記テーパ部と前記第2のシリコンコアとを覆うように形成された第1のオーバークラッドとを備え、 前記アンダークラッドと前記第1のシリコンコアと前記第1のオーバークラッドとは、第1のシリコン細線光導波路を構成し、 前記アンダークラッドと前記テーパ部と前記第1のオーバークラッドとは、テーパ構造部を構成し、 前記アンダークラッドと前記第2のシリコンコアと前記第1のオーバークラッドとは、第2のシリコン細線光導波路を構成し、 前記第1のオーバークラッドの屈折率は、前記アンダークラッドの屈折率よりも大きいことを特徴とするスポットサイズ変換器。
IPC (1件):
G02B 6/122
FI (1件):
G02B6/12 A
Fターム (9件):
2H147AB24 ,  2H147BB02 ,  2H147EA13A ,  2H147EA13C ,  2H147EA14B ,  2H147EA16B ,  2H147FA03 ,  2H147FA06 ,  2H147FC01
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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