特許
J-GLOBAL ID：201303023600234321
ペリクル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
滝田 清暉
, 中村 成美
, 岩▲崎▼ 有穂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-100882
公開番号（公開出願番号）：特開2013-228582
出願日： 2012年04月26日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
要約：
【課題】ペリクルをフォトマスク等に押し付ける圧力が強くても、フレームとフォトマスク等が接触せず、フォトマスク等にキズが付くことを防止することができるペリクルの提供。【解決手段】フレームの一方の端面にペリクル膜が貼り付けられ、前記フレームの他方の端面に粘着層が設けられてなるペリクル。前記粘着層が、粘着剤及び、粒子状のスペーサーを含有し、該スペーサーの硬さが、デュロメータタイプAによる測定値で80以下であって前記粘着剤よりも硬いことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
フレームの一方の端面にペリクル膜が貼り付けられ、前記フレームの他方の端面に粘着層が設けられてなるペリクルであって、前記粘着層が、粘着剤及び、粒子状のスペーサーを含有し、該スペーサーの硬さが、デュロメータタイプAによる測定値で80以下であって前記粘着剤よりも硬いことを特徴とするペリクル。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
