特許
J-GLOBAL ID:201303024804517620
面発光レーザ素子、面発光レーザ素子の製造方法及び原子発振器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-234113
公開番号(公開出願番号):特開2013-138176
出願日: 2012年10月23日
公開日(公表日): 2013年07月11日
要約:
【課題】所望の波長間隔で正確に発振させることのできる複数の面発光レーザを有する面発光レーザ素子を提供する。【解決手段】半導体基板の上に形成された下部ブラッグ反射鏡と、前記下部ブラッグ反射鏡の上に形成された活性層を含む共振器と、前記共振器の上に形成された上部ブラッグ反射鏡と、を有し、前記上部ブラッグ反射鏡または前記下部ブラッグ反射鏡内には、波長調整層が形成されており、前記波長調整層の厚さを変えることにより、異なる波長を各々出射する複数の面発光レーザを有するものであって、前記波長調整層は、2の種類の異なる材料により形成される各々の調整層を積層することにより形成されており、前記波長調整層の厚さは、前記波長調整層における前記調整層の層数を変えることにより、変えたものであることを特徴とする面発光レーザ素子を提供することにより上記課題を解決する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
半導体基板の上に形成された下部ブラッグ反射鏡と、
前記下部ブラッグ反射鏡の上に形成された活性層を含む共振器と、
前記共振器の上に形成された上部ブラッグ反射鏡と、
を有し、
前記上部ブラッグ反射鏡または前記下部ブラッグ反射鏡内には、波長調整層が形成されており、
前記波長調整層の厚さを変えることにより、異なる波長を各々出射する複数の面発光レーザを有するものであって、
前記波長調整層は、2の種類の異なる材料により形成される各々の調整層を積層することにより形成されており、
前記波長調整層の厚さは、前記波長調整層における前記調整層の層数を変えることにより、変えたものであることを特徴とする面発光レーザ素子。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (15件):
5F173AC03
, 5F173AC13
, 5F173AC14
, 5F173AC35
, 5F173AC42
, 5F173AC52
, 5F173AH02
, 5F173AP05
, 5F173AP09
, 5F173AP32
, 5F173AP33
, 5F173AP37
, 5F173AP67
, 5F173AR03
, 5F173AR07
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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