特許
J-GLOBAL ID：201303025703244514

薄膜製造装置のアライメント調整方法、薄膜製造装置、該薄膜製造装置により製造した電気機械変換膜、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置

発明者：
坂東 佳憲

坂東 佳憲 について

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町田 治

町田 治 について

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田代 亮

田代 亮 について

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八木 雅広

八木 雅広 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-202338
公開番号（公開出願番号）：特開2013-063371
出願日： 2011年09月15日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：
【課題】低コスト化を図れる導膜製造装置、製造した電気機械変換素子、液滴吐出装置を提供する。【解決手段】第1のアライメント調整工程では着弾位置251をカメラ205で捕捉し着弾位置251がカメラ205の撮影撮影基準位置252に一致するように基板又は液滴吐出ヘッド201を相対的に移動する。第2のアライメント調整工程ではレーザレッドによってレーザ光を照射して照射跡を形成し照射跡をカメラ205で捕捉し照射跡がカメラ205の撮影撮影基準位置252に一致するように基板又はレーザヘッドを相対的に移動する。第3のアライメント調整工程では基板上に予め形成されているアライメントマークを撮像手段205で撮影したアライメントマークの形状に基づいて基板の向きを検知して基板の向きの調整を行いアライメントマークを撮像手段205の撮影基準位置に一致するように基板を移動することで基板の組付け位置の調整を行う。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
XY平面移動可能で、かつ面内回転可能なステージに保持された基板上に薄膜形成用の溶液を液滴吐出ヘッドにより吐出し、基板上に着弾した溶液にレーザ光源によるレーザ光を照射して熱処理を施して薄膜を形成する薄膜製造装置のアライメント調整方法において、 前記基板が前記液滴吐出ヘッドの直下になるように前記基板又は前記液滴吐出ヘッドを相対的に任意の基準位置から移動させて前記液滴吐出ヘッドによってアライメントマーク用の溶液を前記基板上に吐出し、着弾したアライメントマーク用の溶液に1台の描画撮影用の撮像手段の撮影基準位置が一致するように前記基板又は前記撮像手段を相対的に移動させたときの第1の移動量を記憶し、前記液滴吐出ヘッドの直下に着弾位置が来るように前記第1の移動量に基づいて前記基板又は前記液滴吐出ヘッドを相対的に移動させる第1のアライメント調整工程と、 基準位置から前記基板又は前記レーザ光源による照射位置を相対的に移動させて前記レーザ光源によって前記基板上にレーザ光を照射して照射跡を形成し、該照射跡に前記撮像手段の撮影基準位置が一致するように前記基板又は前記撮像手段を相対的に移動させたときの第2の移動量を記憶し、前記レーザ光源による照射位置に着弾位置が来るように前記第2の移動量に基づいて前記基板又は前記レーザ光源による照射位置を相対的に移動させる第2のアライメント調整工程と、 前記基板上に予め形成されているアライメントマークを前記撮像手段で撮像し、撮像した前記アライメントマークの形状に基づいて前記基板の向きを検知して所定の向きになるように前記基板又は前記撮像手段を相対的に回転させたとき回転角度を記憶し、前記アライメントマークの位置が前記撮像手段の撮像基準位置に一致するように前記撮像手段又は前記基板を相対的に移動させたときの前記アライメントマークの前記ステージにおける位置座標を記憶し、前記基板の向きを所定の向きになるように前記回転角度に基づいて前記基板又は前記撮像手段を相対的に回転させ、かつ前記アライメントマークの位置が前記撮像基準位置に一致するように前記位置座標に基づいて前記基板又は前記撮像手段を相対的に移動させる第3のアライメント調整工程と を有することを特徴とする薄膜製造装置のアライメント調整方法。
IPC (3件)：
B01J 19/12 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/26
FI (3件)：
B01J19/12 G ,  G01B11/00 H ,  G01B11/26 H
Fターム (34件)：
2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA39 ,  2F065BB27 ,  2F065CC02 ,  2F065CC31 ,  2F065FF04 ,  2F065FF23 ,  2F065FF27 ,  2F065GG04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM02 ,  2F065MM13 ,  2F065MM23 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR06 ,  2F065TT02 ,  4G075AA24 ,  4G075AA61 ,  4G075BA04 ,  4G075BC06 ,  4G075CA02 ,  4G075CA36 ,  4G075EB31 ,  4G075EC01 ,  4G075ED08 ,  4G075ED13
引用特許：
審査官引用 (9件)
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