特許
J-GLOBAL ID：201303027555356912
磁気偏向範囲を含む電子エネルギーフィルタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
杉村 憲司
, 澤田 達也
, 冨田 和幸
, 下地 健一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-015549
公開番号（公開出願番号）：特開2001-243910
特許番号：特許第4897144号
出願日： 2001年01月24日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 磁気偏向範囲(3,23〜28,31〜36)を含む電子エネルギーフィルタであって、前記エネルギーフィルタの入力部における光軸(1)を前記エネルギーフィルタの出力部における光軸(1’)に偏向し、前記磁気偏向範囲は、第1偏向範囲(23,24)、第2偏向範囲(25)、第3偏向範囲(26)および第4偏向範囲(27,28)を備え、
すべての前記第1〜第4偏向範囲(3,23〜28,31〜36)が、150°から210°の範囲の合計角度だけビーム偏向を行い、前記第1偏向範囲(23,24)および前記第4偏向範囲は、それぞれ2つの部分範囲(23,24,27,28)からなる2つの部分から構成され、それぞれ前記部分範囲(23,24,27,28)の間の磁場の無い空間にはドリフト区間が設けられていることを特徴とする電子エネルギーフィルタ。
IPC (2件)：
H01J 49/46 ( 200 6.01)
, H01J 37/26 ( 200 6.01)
