電気化学測定用カーボン電極およびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山川政樹 , 山川茂樹 , 小池勇三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-087085
公開番号（公開出願番号）：特開2013-217717
出願日： 2012年04月06日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：

【課題】接近させた2つの電極を用いる電気化学的測定で、電極パターンをあまり微細化することなく、高感度化ができるようにする。【解決手段】ステップS101で、絶縁層の上に導電性カーボン層を形成する。次に、ステップS102で、グラフェンからなる炭素層を形成する。次に、ステップS103で、導電性カーボン層および炭素層をパターニングし、交互に入り込んで対向配置されて対となる2つの櫛形電極を形成する。電気化学測定で用いる櫛形電極が、導電性カーボン層と、導電性カーボン層の上に形成されたグラフェンからなる炭素層とから構成されて形成されるようになり、電極表面にグラフェンが配置された状態となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁層の上に導電性カーボン層を形成する工程と、前記導電性カーボン層の上にグラフェンからなる炭素層を形成する工程と、前記導電性カーボン層および前記炭素層をパターニングし、交互に入り込んで対向配置された2つの櫛形電極を形成する工程とを少なくとも備えることを特徴とする電気化学測定用カーボン電極の製造方法。

IPC (2件)：

G01N 27/30 , G01N 27/416

FI (2件)：

G01N27/30 B , G01N27/46 336G

引用特許：

審査官引用 (9件)

微小電気化学検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-052679 出願人：エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社, ビーエーエス株式会社
グラフェン薄膜の製膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-264804 出願人：富士電機ホールディングス株式会社
半導体装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-203293 出願人：富士通株式会社

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