有機ケイ酸塩ガラスにデュアルダマシン構造をエッチングするための方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-507435
特許番号：特許第5178983号
出願日： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ウエハ内にデュアルダマシンエッチング構造を形成するための方法であって、前記ウエハは、有機ケイ酸塩ガラス誘電体層を備え、前記方法は、 Ar/N2/CF4、およびAr/N2/C2F6からなるエッチャント混合物の群から選択される第1の低選択性エッチャントを用いて、前記有機ケイ酸塩ガラス誘電体の大部分をエッチングし、前記有機ケイ酸塩ガラス誘電体の残留部分を残す第1のエッチング工程と、 Ar/N2/C4F8の混合物である第2の高選択性エッチャントを用いて、前記有機ケイ酸塩ガラス誘電体の前記残留部分をエッチング除去する第2のエッチング工程と、を備える、方法。

IPC (2件)：