特許
J-GLOBAL ID：201303037949010723
振動数検出用のボロメータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
村山 靖彦
, 志賀 正武
, 渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-529658
公開番号（公開出願番号）：特表2013-540264
出願日： 2011年09月23日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：
本発明は、少なくとも一つの電気機械マイクロシステム又はナノシステムを備えたボロメータに関する。そのマイクロシステム又はナノシステムは、支持体(8)と、支持体(8)の上方において梁(6)から懸架された可動質量(4)(その可動質量は光フラックス(F)の吸収体を形成している)と、可動質量(4)を振動させるために可動質量の横に配置された作動電極(12)と、可動質量(4)の振動数の変動を検出するために可動質量の横に配置された検出電極(14)とを備える。
請求項（抜粋）：
少なくとも一つの電気機械マイクロシステム又はナノシステムを備えたボロメータであって、前記電気機械マイクロシステム又はナノシステムが、支持体(8)と、懸架手段(6)によって前記支持体(8)の上方に懸架された可動質量(4)と、作動手段(12)と、検出手段(14)とを備え、前記懸架手段(6)が少なくとも二つの梁を備え、前記可動質量が光フラックス(F)の吸収体を形成していて、前記作動手段(12)が、前記可動質量の正中面内において前記可動質量の固有変形モードに従った共鳴振動数で前記可動質量(4)を振動させるように構成されていて、前記正中面が前記基板に対して実質的に固定されていて、前記検出手段(14)が前記可動質量(4)の振動数の変動を検出し、前記梁(6)の厚さが前記可動質量(4)の厚さの少なくとも10分の1である、ボロメータ。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, B81B 3/00
, B81C 1/00
G01J1/02 C
, B81B3/00
, B81C1/00
2G065AB02
, 2G065BA12
, 2G065CA12
, 2G065DA20
, 3C081AA04
, 3C081BA28
, 3C081BA33
, 3C081BA44
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081BA72
, 3C081BA76
, 3C081CA03
, 3C081CA14
, 3C081CA15
, 3C081CA26
, 3C081CA29
, 3C081DA02
, 3C081DA03
, 3C081EA04
