特許
J-GLOBAL ID：201303040030944259
3端子スピントルク発振素子(STO)
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-122079
公開番号（公開出願番号）：特開2012-253344
出願日： 2012年05月29日
公開日（公表日）： 2012年12月20日
要約：
【課題】3端子スピントルク発振素子(STO)を提供する。【解決手段】スピントルク発振素子(STO)は、非磁性導電スペーサ層を有する巨大磁気抵抗(GMR)構造とトンネルバリア層を有するトンネル磁気抵抗(TMR)構造の両方の一部を形成する単一の自由強磁性層を有する。STOは、導電スペーサ層を通じてスピントルク励起電流を、そして、トンネルバリア層を通じて相対的に小さな検知電流を供給する電気回路に接続する3つの電気端子を有する。STOが磁界センサとして使用される際には、励起電流は、外部磁界が存在しない状態において自由層の磁化を固定された基底周波数において発振させる。検知電流に結合された検出器は、外部磁界に応答して基底周波数からの自由層磁化発振周波数のシフトを検出する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
スピントルク発振素子であって、
基材と、
前記基材上の層の組であって、
自由強磁性層であって、該自由強磁性層の平面を通じて垂直方向に励起電流が存在する場合に発振する磁化を有する自由強磁性層と、
固定された磁化を有する第1強磁性基準層と、
前記自由強磁性層と前記第1強磁性基準層の間に位置し、且つ、これらと接触状態にある非磁性トンネルバリア層と、
固定された磁化を有する第2強磁性基準層と、
前記自由強磁性層と前記第2強磁性基準層の間に位置し、且つ、これらと接触状態にある非磁性導電スペーサ層と、
を有する層の組と、
前記スピントルク発振素子に電気回路を接続するための3つの電気端子であって、前記3つの電気端子の第1の電気端子は、前記第1強磁性基準層に対して電気的に結合され、前記3つの電気端子の第2の電気端子は、前記第2強磁性基準層に対して電気的に結合され、且つ、前記3つの電気端子の第3の電気端子は、前記非磁性導電スペーサ層と前記自由強磁性層のうちの1つに対して電気的に結合される、3つの電気端子と、
を有するスピントルク発振素子。
IPC (4件)：
H01L 29/82
, H01L 43/08
, G11B 5/39
, G11B 5/02
H01L29/82 Z
, H01L43/08 U
, G11B5/39
, G11B5/02 R
5D034BA02
, 5D034BA04
, 5D091AA10
, 5D091DD03
, 5D091DD30
, 5F092AA02
, 5F092AB02
, 5F092AB10
, 5F092AC08
, 5F092AC12
, 5F092AD03
, 5F092AD23
, 5F092AD25
, 5F092BB42
, 5F092BB43
, 5F092BB44
, 5F092BB55
, 5F092BC46
