駆動装置、露光装置および物品の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：大塚康徳 , 高柳司郎 , 大塚康弘 , 木村秀二 , 下山治 , 永川行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-093396
公開番号（公開出願番号）：特開2013-222817
出願日： 2012年04月16日
公開日（公表日）： 2013年10月28日
要約：

【課題】駆動装置において、パーティクルの飛散を防止する上で有利な技術を提供する。【解決手段】基台1の上に支持された軸部材2と、軸部材2の軸に沿って移動可能な可動部材と、を有する駆動装置100は、軸部材2が貫通する貫通口を含むとともに、軸部材2を取り囲む複数の板部材を備え、複数の板部材のそれぞれは、可動部材の移動方向に相互に離隔して配置されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基台の上に支持された軸部材と、前記軸部材の軸に沿って移動可能な可動部材と、を有する駆動装置であって、前記軸部材が貫通する貫通口を含むとともに、前記軸部材を取り囲む複数の板部材を備え、前記複数の板部材のそれぞれは、前記可動部材の移動方向に相互に離隔して配置されていることを特徴とする駆動装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 , H01L 21/68

FI (4件)：

H01L21/30 503G , H01L21/30 503A , G03F7/20 521 , H01L21/68 K

Fターム (10件)：

5F131AA02 , 5F131BA13 , 5F131CA15 , 5F131DA42 , 5F131DB88 , 5F131JA16 , 5F131JA26 , 5F146CC01 , 5F146CC02 , 5F146CC18

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開昭62-184277
ボールねじ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-124704 出願人：日本精工株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-224283 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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審査官引用 (9件)

ボールねじ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-124704 出願人：日本精工株式会社
直線運動装置及び自動化装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-146674 出願人：日本精工株式会社
搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-082684 出願人：東京エレクトロン株式会社

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