鏡面反射面の形状測定

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：柳田征史 , 佐久間剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-260950
公開番号（公開出願番号）：特開2013-040971
出願日： 2012年11月29日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
要約：

【課題】鏡面反射面の形状を測定する方法が提供される。【解決手段】ターゲット面142に配置されたターゲット140の表面144に表示されたパターンを測定面122に配置された鏡面反射面124から反射させる。反射の画像が撮像面154において記録される。撮像面154に対する鏡面反射面124上の複数の点の位置が決定される。反射の画像上の複数のフィーチャ位置とパターン上の複数のフィーチャ位置との間の第1の関係が決定される。複数の点の位置を初期状態として用いて、鏡面反射面の表面プロファイル及び第1の関係を含む第2の関係から鏡面反射面の形状が決定される。【選択図】図3A

請求項（抜粋）：

鏡面反射面の形状を測定する方法であって、ターゲット面に配置されたターゲットの表面に表示された平面状の幾何学的パターンを、測定面に配置された鏡面反射面から反射させる工程と、前記反射の画像を撮像面において記録する工程と、前記撮像面に対する前記鏡面反射面上の複数の点の位置を決定する工程と、前記反射の画像上の複数のフィーチャ位置と前記パターン上の複数のフィーチャ位置との間の第1の関係を決定する工程と、前記複数の点の前記位置を初期状態として用いて、前記鏡面反射面の表面プロファイル及び前記第1の関係を含む第2の関係から前記鏡面反射面の形状を決定する工程とを含むことを特徴とする方法。

IPC (1件)：

G01B 11/25

FI (1件)：

G01B11/25 H

Fターム (16件)：

2F065AA35 , 2F065AA53 , 2F065BB25 , 2F065CC02 , 2F065FF67 , 2F065HH06 , 2F065HH07 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065LL41 , 2F065MM03 , 2F065PP16 , 2F065QQ00 , 2F065QQ03

引用特許：

審査官引用 (11件)

三次元形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-082587 出願人：株式会社ニデック
特開平3-044504
特開平3-044504

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