特許
J-GLOBAL ID：201303049177144654

スルホニル構造を有する化合物、それを用いた感放射線性酸発生剤、ポジ型感放射線性樹脂組成物、及びネガ型感放射線性樹脂組成物

発明者：
白木 真司

白木 真司 について

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横山 健一

横山 健一 について

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江幡 敏

江幡 敏 について

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王 勇

王 勇 について

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下川 努

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出願人/特許権者：
JSR株式会社

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代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-248430
公開番号（公開出願番号）：特開2003-055341
特許番号：特許第4951827号
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】(A)下記一般式(1) [式中、R1およびR2は、独立に、水素原子、炭素原子数1〜20の置換若しくは非置換のアルキル基、炭素原子数3〜20の置換若しくは非置換の脂環族基、炭素原子数1〜20のアルケニル基、置換若しくは非置換のアリール基、又は置換若しくは非置換のヘテロアリール基を示し、R3は、-R’基、-OR’基、-SR’基または-N(R’)2基を示し、Yは=N-OR’基、=N-OC(R’)2基または=N-OCO-R’基を示す。(ここでR’は、水素原子、炭素原子数1〜20の置換若しくは非置換のアルキル基、炭素原子数3〜20の置換若しくは非置換の脂環族基、炭素原子数1〜20のアルケニル基、置換若しくは非置換のアリール基、又は置換若しくは非置換のヘテロアリール基を示す。ただし、同一の窒素原子または炭素原子に結合した2つのR’は、相互に結合してヘテロ原子を含んでも良い環を形成しても良い。)ただし、R1、R2およびR3の少なくとも2つが互いに結合して下記式(2-1)、(2-2)および(2-3) に示すように環状構造を形成していてもよく、R1、R2、またはR3は下記式(3-1)、(3-2)または(3-3) (式中、R1’、R2’、またはR3’は、別々の分子に属する2個R1、R2、またはR3から各1個の原子または基が解離して残基が結合して形成された形である2価の基である。) に示すように、R1’、R2’、またはR3’となって、これらを介して二量体を形成していてもよい。] で表されるスルホニル構造を有する化合物を含有する感放射線性酸発生剤、及び(B)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、を含有してなる化学増幅型のポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  G03F 7/038 ( 200 6.01) ,  G03F 7/039 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  C07C 381/00 ( 200 6.01) ,  C07D 309/12 ( 200 6.01)
FI (6件)：
G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R ,  C07C 381/00 ,  C07D 309/12
引用特許：
審査官引用 (10件)
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引用文献：
審査官引用 (9件)
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