特許
J-GLOBAL ID:201303051770370681

形状計測装置および形状計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 世良 和信 ,  和久田 純一 ,  中村 剛
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-532853
公開番号(公開出願番号):特表2013-543591
出願日: 2011年10月03日
公開日(公表日): 2013年12月05日
要約:
本発明は、鏡面物体の3次元形状およびその空間位置を精度良く計測するための技術を提供する。照明装置から計測対象物に光を照射した状態で、カメラで計測対象物を撮像し、形状計測用の画像を得る。形状計測用の画像から計測対象物表面の法線の向きを算出し、その算出結果から表面の3次元形状を復元する。プロジェクタから計測対象物に縞状パタンを投影した状態で、カメラで計測対象物を撮像し、測距用の画像を得る。得られた測距用の画像を解析することで計測対象物表面の高さ情報を得る。法線算出により復元された3次元形状と、測距により得られた高さ情報とを組み合わせることで、計測対象物の3次元形状およびその空間位置を求める。
請求項(抜粋):
計測対象物の3次元形状を計測する形状計測装置であって、 ステージ上に配置された計測対象物に光を照射する照明装置と、 前記計測対象物を撮像する撮像装置と、 前記照明装置から光を照射した状態で前記撮像装置による撮像を行うことにより得られた画像から、前記計測対象物の表面上の複数の点における法線の向きを算出し、その法線の向きの算出結果から前記計測対象物の表面の3次元形状を算出する形状算出装置と、 前記計測対象物の表面上の1以上の点について、所定の基準位置からの距離を計測する測距装置と、 前記測距装置で得られた距離の情報を用いて、前記形状算出装置で得られた前記計測対象物の表面の3次元形状の空間位置を決定する決定装置と、 を有する形状計測装置。
IPC (5件):
G01B 11/24 ,  G06T 17/20 ,  G06T 19/00 ,  G06T 1/00 ,  G01B 11/25
FI (6件):
G01B11/24 A ,  G06T17/20 ,  G06T19/00 A ,  G06T1/00 315 ,  G01B11/25 H ,  G01B11/24 K
Fターム (44件):
2F065AA01 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065AA31 ,  2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065AA53 ,  2F065BB25 ,  2F065CC15 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF44 ,  2F065GG15 ,  2F065GG21 ,  2F065HH06 ,  2F065HH07 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  5B050BA09 ,  5B050DA01 ,  5B050EA07 ,  5B050EA28 ,  5B050FA02 ,  5B050GA04 ,  5B057AA20 ,  5B057DA07 ,  5B057DA20 ,  5B057DB03 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC08 ,  5B057DC09 ,  5B057DC30 ,  5B080AA19 ,  5B080CA08 ,  5B080DA06 ,  5B080GA02 ,  5B080GA22
引用特許:
審査官引用 (7件)
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