特許
J-GLOBAL ID：201303056812979144
変角分光イメージング測定方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
あいわ特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-126389
公開番号（公開出願番号）：特開2013-238576
出願日： 2012年06月01日
公開日（公表日）： 2013年11月28日
要約：
【課題】より正確で実用性の高い変角分光イメージング測定方法およびその装置を実現すること。【解決手段】測定サンプル面2に対して、2つ以上の角度方向から照明光を照射する照明装置10と、結像用の光学レンズ8と、白黒2次元画像センサー4を備える。これにより、測定波長毎に測定サンプル面2の2次元画像を撮像して、該2次元画像の全ての画素において、画素毎に変角、分光情報を短時間で正確に計測する方法及び装置を提供し、具体的には、より正確で実用性の高い変角分光イメージング測定方法及びその装置を実現する。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
試料面の垂直方向に対して2つ以上の角度方向から該試料面に白色光である照明光を照射可能な照明装置と、
前記試料面からの反射光を分光する該試料面の上方に配置した分光手段と、
前記分光手段により分光された反射光を結像する結像用のレンズと、
前記結像用のレンズを介して前記反射光を受光し該試料面を撮像可能な2次元画像センサーと、
を有し、
前記2次元画像センサーで撮像された2次元画像内の画素毎の照明方向と撮像方向の光学幾何条件の変化を利用して前記試料面の分光情報を取得する変角分光イメージング装置であって、
前記分光手段の透過波長を変更することにより測定波長毎に前記試料面の2次元画像を撮像し、該2次元画像の全ての画素の測定波長毎の分光情報を取得することが可能な変角分光イメージング計測装置。
IPC (4件)：
G01N 21/27
, G01N 21/17
, G01N 21/57
, G01J 3/46
G01N21/27 A
, G01N21/17 A
, G01N21/57
, G01J3/46 Z
2G020AA04
, 2G020BA17
, 2G020CA03
, 2G020CB43
, 2G020CC09
, 2G020CC26
, 2G020CD06
, 2G020DA05
, 2G020DA12
, 2G020DA13
, 2G020DA42
, 2G059AA02
, 2G059BB08
, 2G059EE02
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059HH02
, 2G059HH03
, 2G059KK01
, 2G059KK04
