特許
J-GLOBAL ID：201303058655139199
深さ分解像を供する荷電粒子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-176834
公開番号（公開出願番号）：特開2013-037001
出願日： 2012年08月09日
公開日（公表日）： 2013年02月21日
要約：
【課題】荷電粒子顕微鏡が、様々なビームエネルギーでの一連の測定を必要とすることなく、試料からの深さ分解像を取得するために用いることのできる方法を提供する。【解決手段】荷電粒子顕微鏡を用いた試料の検査方法は、試料ホルダ上に試料を載置する手順;粒子光学鏡筒を用いて試料の表面上に特別な放射線ビームを案内することで、試料から放出される放射線を生じさせる相互作用を生じさせる手順;検出装置を用いて放出される放射線の少なくとも一部を検出する手順、試料の表面に対して垂直な軸に対する放出される放射線の放出角θnの関数として検出装置の出力Onを記録することによって、複数のθnについて測定データの組M={(On,θn)}をまとめる手順、コンピュータ処理装置を用いて測定データの組Mのデコンボリューションを自動的に行って、結果の組R={(Vk,Lk)}に分解する手順を有する。【選択図】図5A
請求項（抜粋）：
荷電粒子顕微鏡を用いた試料の検査方法であって:
試料ホルダ上に前記試料を載置する手順;
粒子光学鏡筒を用いて前記試料の表面上に特別な放射線ビームを案内することで、前記試料から放出される放射線を生じさせる相互作用を生じさせる手順;
検出装置を用いて前記放出される放射線の少なくとも一部を検出する手順;
前記試料の表面に対して垂直な軸に対する前記放出される放射線の放出角θnの関数として前記検出装置の出力Onを記録することによって、複数のθnについて測定データの組M={(On,θn)}をまとめる手順;
コンピュータ処理装置を用いて前記測定データの組Mのデコンボリューションを自動的に行って、結果の組R={(Vk,Lk)}に空間分解する手順;
を有し、
空間変数Vは、前記表面を基準とした離散的深さレベルLkでの値Vkを表し、
nとkは整数で、
空間変数Vは、前記試料内での位置の関数としての前記試料の物理的特性を表す、
方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G001AA03
, 2G001BA05
, 2G001BA15
, 2G001CA01
, 2G001CA03
, 2G001CA07
, 2G001DA07
, 2G001EA01
, 2G001EA03
, 2G001GA06
, 2G001PA07
, 2G001PA15
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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