特許
J-GLOBAL ID：201303060390989106

基板処理装置及び経由チャンバー

発明者：
高橋 信行

高橋 信行 について


出願人/特許権者：
キヤノンアネルバ株式会社

キヤノンアネルバ株式会社 について


代理人 (2件)： 岩田 今日文 ,  瀬戸 さより
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-399442
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203884
特許番号：特許第4856308号
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】内部で基板に所定の処理を施す真空チャンバーである処理チャンバーと、該処理チャンバーの周囲に気密に接続された真空チャンバーである経由チャンバーと、該経由チャンバーに気密に接続された真空チャンバーである中間チャンバーと、該中間チャンバーに気密に接続された真空チャンバーであるロードロックチャンバーと、前記経由チャンバーを経由して前記処理チャンバーに順次基板を搬送する搬送系とを備えた基板処理装置であって、 前記搬送系は、前記基板をその板面が水平方向に対して45度以上90度以下の保持角度になるよう立てて保持する基板保持具と、該基板保持具を、前記経由チャンバーを経由して各真空チャンバーに移動させる水平移動機構と、から成り、 前記ロードロックチャンバー内における前記基板保持具の搬送経路は、第1の方向に前記基板保持具を搬送するものであり、 前記水平移動機構は、 前記経由チャンバー内において、前記処理チャンバーとの間で前記基板保持具を移動させる際に、前記基板保持具を水平方向に対して垂直な回転軸の周りに回転させ、前記基板保持具を移動させようとする前記処理チャンバーの方向に前記基板保持具の向きを一致させるように転換する方向転換機構を有し、 さらに前記中間チャンバー内において、 前記基板保持具の前記基板を保持する面が、前記第1の方向に平行になるように複数の前記基板保持具を並列させ、前記第1の方向に並列している複数の前記基板保持具を、前記第1の方向に垂直な水平方向である第2の方向に移動させることができ、 前記中間チャンバーから前記ロードロックチャンバーへ前記基板保持具を移動させる際には、複数の前記基板保持具のうちの1つを前記ロードロックチャンバー内の搬送経路の延長線上に移動した後に、前記第1の方向に移動して前記ロードロックチャンバー内に搬送し、 前記中間チャンバーから前記経由チャンバーへ前記基板保持具を移動させる際には、複数の前記基板保持具のうちの1つを前記経由チャンバー内の搬送経路の延長線上に移動した後に、前記第1の方向に移動して前記経由チャンバー内に搬送することを特徴とする基板処理装置。
IPC (7件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B65G 49/06 ( 200 6.01) ,  C23C 14/50 ( 200 6.01) ,  C23C 16/44 ( 200 6.01) ,  G02F 1/13 ( 200 6.01) ,  H01L 21/203 ( 200 6.01) ,  H01L 21/302 ( 200 6.01)
FI (7件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/06 Z ,  C23C 14/50 K ,  C23C 16/44 F ,  G02F 1/13 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/302
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM