光学素子

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-049926
公開番号（公開出願番号）：特開2013-147752
出願日： 2013年03月13日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
要約：

【課題】物理的膜厚dを均一にするだけでなく屈折率nも均一にした光学素子(OE)を提供する。【解決手段】第1の観点による光学素子(OE)は、基板を真空チャンバー内に配設し、基板保持部が有する複数の保持枠に基板を保持させ、基板を中央部から周辺部にかけて均一に加熱し、中央部から周辺部にかけて基板を均一に加熱している状態において蒸着源から蒸着材料を放出し、基板に蒸着材料を蒸着する光学薄膜成膜方法によって成膜された光学薄膜を含む光学素子である。そして光学薄膜の光学膜厚ndは、光学素子の中央部から周辺部の表面にかけて形成され、周辺部の光学膜厚ndと中央部の光学膜厚ndとが、均一である。なお、光学膜厚ndは、屈折率n×物理的膜厚dである。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

基板を真空チャンバー内に配設し、基板保持部が有する複数の保持枠に前記基板を保持させ、前記基板を中央部から周辺部にかけて均一に加熱し、前記中央部から前記周辺部にかけて前記基板を均一に加熱している状態において蒸着源から蒸着材料を放出し、前記基板に前記蒸着材料を蒸着する光学薄膜成膜方法によって成膜された光学薄膜を含む光学素子であって、前記光学薄膜の光学膜厚ndは、前記光学素子の前記中央部から前記周辺部の表面にかけて形成され、前記周辺部の前記光学膜厚ndが前記中央部の前記光学膜厚ndよりも大きい光学素子。なお、光学膜厚ndは、屈折率n×物理的膜厚dである。

IPC (2件)：

C23C 14/50 , G02B 5/26

FI (2件)：

C23C14/50 E , G02B5/26

Fターム (18件)：

2H048FA04 , 2H048FA05 , 2H048FA07 , 2H048FA12 , 2H048FA24 , 4K029AA08 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA46 , 4K029BA48 , 4K029BB02 , 4K029CA01 , 4K029DA08 , 4K029DA12 , 4K029DB14 , 4K029DB21 , 4K029JA02 , 4K029JA06

引用特許：

出願人引用 (1件)

真空蒸着方法及び真空蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-098379 出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (6件)

特開平3-294801
特開平3-294801
光学レンズ及び光情報記録再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-256049 出願人：コニカ株式会社

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