特許
J-GLOBAL ID：201303074762227195

外観検査装置

発明者：
疋田 雄一郎

疋田 雄一郎 について

, 
猿渡 健

猿渡 健 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-006961
公開番号（公開出願番号）：特開2013-148363
出願日： 2012年01月17日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
要約：
【課題】画像の転送効率の低下を抑制して、欠陥検査を効率的に行う技術を提供する。【解決手段】外観検査装置1は、撮影部3が撮影したパターンの形成された基板9表面の画像に基づいて、パターンの欠陥を検出する検査部5を備えている。検査部5は、撮影部3が基板9上の検査対象の領域を撮影して画像保持メモリ53に保存した画像データを、複数の画像処理用メモリ593に転送する画像転送部55と、画像転送部55によって画像処理用メモリ53に転送された転送済みの画像データの中から、それぞれの処理対象の領域に対応する画像データを取り出し、欠陥検出のための検査処理を実行する複数のGPU591とを備えている。また、検査部5は、画像転送部55による画像転送とは独立して検査内容を規定する検査タスクを検査タスク保持部51から取得するとともに、該検査タスクに従って複数のGPU591を制御する画像処理制御部57を備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
撮影部が撮影したパターンの形成された基板表面の画像に基づいて、前記パターンの欠陥を検出する外観検査装置において、 撮影部が基板上の検査対象の領域を撮影して画像保持メモリに保存した画像データを、複数の画像処理用メモリに転送する画像転送部と、 前記画像転送部によって前記画像処理用メモリに転送された転送済みの画像データの中から、それぞれの処理対象の領域に対応する画像データについて、欠陥検出のための検査処理を実行する複数の画像処理部と、 前記画像転送部による画像転送とは独立して、検査内容を規定する検査タスクを取得するとともに、該検査タスクに従って複数の前記画像処理部を制御する画像処理制御部と、 を備える外観検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  G06T 1/00
FI (2件)：
G01N21/956 A ,  G06T1/00 305A
Fターム (29件)：
2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AA65 ,  2G051AA71 ,  2G051AB02 ,  2G051BA05 ,  2G051BA06 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA19 ,  2G051EA20 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051ED04 ,  2G051ED11 ,  5B057AA03 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC32
引用特許：
審査官引用 (6件)
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