特許
J-GLOBAL ID:201303076421242342 薄膜多結晶の膜構造同定方法
発明者: 出願人/特許権者: 代理人 (6件):
藤田 考晴
, 上田 邦生
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 風間 鉄也
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-284051
公開番号(公開出願番号):特開2003-092265
特許番号:特許第4928694号
出願日: 2001年09月18日
公開日(公表日): 2003年03月28日
請求項(抜粋):
【請求項1】 対象となる薄膜多結晶について結晶解析データを測定する工程と、前記薄膜多結晶の製膜条件に基づいて薄膜多結晶の膜構造をシミュレーションし、前記結晶解析データと一致するように膜構造を指定するパラメータを調整することによって、前記薄膜多結晶の膜構造を推定する工程とを含み、
前記薄膜多結晶の膜構造シミュレーションが、複数のセルによって分割されたシミュレーション空間を用意する工程と、
前記空間内において、基板上に、製膜条件に従って成長形が割り当てられた複数の初期結晶粒を配置する工程と、
各初期結晶粒の成長形を、前記空間内で単位成長ステップごとに相似拡大する工程と、
各ステップごとに、拡大された結晶粒の増加分に含まれたセルが、他の結晶粒の増加分と共有されない場合には、そのセルは該結晶粒の構成要素であると判定し、他の結晶粒の増加分と共有される場合には、そのセルはそれらの結晶粒間の粒界であると判定する工程と
を含むことを特徴とする薄膜多結晶の膜構造同定方法。
IPC (2件):
H01L 21/205 ( 200 6.01)
, C23C 16/24 ( 200 6.01)
FI (2件): 引用特許: 前のページに戻る