特許
J-GLOBAL ID：201303077870186747

超高純度窒素ガスの精製方法

発明者：
須藤 重人

須藤 重人 について


出願人/特許権者：
独立行政法人農業環境技術研究所

独立行政法人農業環境技術研究所 について


代理人 (1件)： 鈴木 敦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-258366
公開番号（公開出願番号）：特開2013-112547
出願日： 2011年11月26日
公開日（公表日）： 2013年06月10日
要約：
【課題】本発明は、ガスボンベを使用せずに99.999%以上の超高純度窒素ガスを製造することを課題とする。【解決手段】室内の空気をコンプレッサーにより5〜8気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップ及びオイルミストラップを通過させる第1の工程と、水分離膜内蔵管を通過させる第2の工程と、炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管を少なくとも反復通過させる第3の工程とからなることを特徴とする高純度窒素ガスの精製方法であり、前記第3の工程後に微量不純物吸着管および微量酸素・水除去管を通過させる工程が含まれることが好ましく、前記第2の工程後で、第3の工程の前又は後に、有機物燃焼触媒管および吸湿剤管を通過させる工程が含まれることが好ましい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
室内の空気をコンプレッサーにより5〜8気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップ及びオイルミストラップを通過させる第1の工程と、水分離膜内蔵管を通過させる第2の工程と、炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管を少なくとも反復通過させる第3の工程とからなることを特徴とする高純度窒素ガスの精製方法。
IPC (3件)：
C01B 21/04 ,  B01D 53/22 ,  B01D 53/26
FI (5件)：
C01B21/04 D ,  B01D53/22 ,  B01D53/26 Z ,  B01D53/26 101C ,  B01D53/26 A
Fターム (27件)：
4D006GA41 ,  4D006KA31 ,  4D006KA52 ,  4D006KA53 ,  4D006KA55 ,  4D006KA57 ,  4D006KA63 ,  4D006KA72 ,  4D006KB12 ,  4D006KB30 ,  4D006MA01 ,  4D006MA22 ,  4D006MC11 ,  4D006MC23 ,  4D006MC58 ,  4D006PA03 ,  4D006PB17 ,  4D006PB62 ,  4D006PB63 ,  4D006PB65 ,  4D006PB70 ,  4D006PC80 ,  4D052AA01 ,  4D052BA00 ,  4D052CE00 ,  4D052EA01 ,  4D052HA00
引用特許：
審査官引用 (12件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM