特許

J-GLOBAL ID：201303077920597468

質量分析計の反応および衝突セルのためのガス送達システム

発明者： バディエイ, ハミッド アール. ,  カーエン, カベ
出願人/特許権者： ディーエイチ テクノロジーズ デベロップメント プライベート リミテッド
代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  森下 夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-554435
公開番号（公開出願番号）：特表2013-520673
出願日： 2011年02月22日
公開日（公表日）： 2013年06月06日
要約：

セルベースの質量分析計のためのガス送達システムは、ガス源に連結された入力を有する質量流量コントローラを含む。三方弁は、質量流量コントローラの出力に連結された入力と、真空システムに連結された第1の出力と、通常、反応または衝突セルに連結された第2の出力とを含む。セルは、質量分析計の真空チャンバの内側に位置付けられ、三方弁の第2の出力は、セルの入口に連結され、質量流量コントローラは、セルにガスを提供し、真空チャンバ内の圧力に対してセル内側の圧力を増加させる。

請求項（抜粋）：

セルベースの質量分析計のためのガス送達システムであって、前記ガス送達システムは、 a.ガス源に連結された入力を有する質量流量コントローラと、 b.前記質量流量コントローラの出力に連結された入力と、真空システムに連結された第1の出力と、第2の出力とを有する三方弁と、 c.質量分析計の真空チャンバ内側に位置付けられたセルと を含み、 前記三方弁の第2の出力は、前記セルの入口に連結され、前記質量流量コントローラは、前記真空チャンバ内の圧力に対して前記セル内側の圧力を増加させるガスを前記セルに提供する、ガス送達システム。

IPC (2件)：

G01N 27/62 ,  H01J 49/06

FI (2件)：

G01N27/62 Z ,  H01J49/06

Fターム (7件)：

2G041CA01 ,  2G041EA05 ,  2G041GA24 ,  2G041GA25 ,  2G041KA01 ,  5C038GG09 ,  5C038GH08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 燃料電池パージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-085734   出願人：大阪瓦斯株式会社
• 質量分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-278670   出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ, 株式会社日立サイエンスシステムズ
• 質量分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-051586   出願人：株式会社島津製作所
• イオン化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-203082   出願人：株式会社島津製作所