特許
J-GLOBAL ID：201303079656644862
超純水製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-077257
公開番号（公開出願番号）：特開2013-202587
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】ユースポイントからの排水の水質に応じてユースポイントからの排水の返送先を切り替え、超純水製造コストを低減することができる超純水製造装置を提供する。【解決手段】ユースポイント12からの排水をそのまま脱塩水槽4に送水する配管21、回収水槽17に送水する配管22、及び一次純水槽7に送水する配管23が設けられている。ユースポイント12には、洗浄排水の水質に応じて、又はユースポイント12の稼動形態に応じていずれの配管13,20〜22に排水を流すかを切り替える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一次純水製造装置と、該一次純水製造装置からの一次純水を処理して超純水を製造する二次純水製造装置と、該二次純水製造装置からの超純水をユースポイントに供給する手段と、
該ユースポイントからの排水を処理する排水処理手段とを有する超純水製造装置において、
該排水処理手段の処理水を一次純水製造装置に送水する第1送水手段と、
該ユースポイントからの排水を二次純水製造装置に送水する第2送水手段と、該ユースポイントからの排水を前記排水処理手段の最上流部に送水する第3送水手段と、
該ユースポイントからの排水を前記排水処理手段の途中部に送水する第4送水手段と、
第1ないし第4の送水手段のうち作動させるものを選択する選択手段とを備えたことを特徴とする超純水製造装置。
IPC (3件)：
C02F 1/44
, B01D 61/58
, B01D 61/10
C02F1/44 J
, B01D61/58
, B01D61/10
4D006GA03
, 4D006JA56Z
, 4D006JA67Z
, 4D006JA70Z
, 4D006JA71
, 4D006KA01
, 4D006KA52
, 4D006KA53
, 4D006KA56
, 4D006KA57
, 4D006KA72
, 4D006KB04
, 4D006KB11
, 4D006KB12
, 4D006KB13
, 4D006KB14
, 4D006KB17
, 4D006KB21
, 4D006PA01
, 4D006PC03
