特許
J-GLOBAL ID：201303080799807930
クリーニングシ-ト
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-177964
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198540
特許番号：特許第4718667号
出願日： 2000年06月14日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板処理装置内に搬送して上記装置内に付着している異物を除去するためのクリーニングシートであって、支持体に、感圧接着性ポリマーに分子内に不飽和二重結合を1個以上有する化合物と重合開始剤を少なくとも含有させたものを、活性エネルギーにより重合硬化反応させて粘着性が実質的に消失されてなる、引張弾性率(試験法JISK7127に準ずる)が0.98N/mm2 以上で、表面抵抗率が1×1013Ω/□以上であるクリーニング層が設けられてなるクリーニングシート。
IPC (6件)：
B08B 7/00 ( 200 6.01)
, B08B 6/00 ( 200 6.01)
, B65G 49/07 ( 200 6.01)
, C09J 7/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
, A47L 25/00 ( 200 6.01)
B08B 7/00
, B08B 6/00
, B65G 49/07 Z
, C09J 7/02 Z
, H01L 21/68 A
, A47L 25/00 B
