特許
J-GLOBAL ID:201303082757674151
半導体装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-164458
公開番号(公開出願番号):特開2012-253368
出願日: 2012年07月25日
公開日(公表日): 2012年12月20日
要約:
【課題】フォトセンサにおいて、光検出の精度を向上させることを目的の一とする。また、フォトセンサの受光面積を広げることを目的の一とする。【解決手段】フォトセンサは、光を電気信号に変換する受光素子と、電気信号を転送する第1のトランジスタと、電気信号を増幅する第2のトランジスタとを有し、受光素子はシリコン半導体を用いて形成され、第1のトランジスタは酸化物半導体を用いて形成されている。また、受光素子は横型接合タイプのフォトダイオードであり、受光素子が有するn層又はp層と、第1のトランジスタとが重なって形成されている。【選択図】図19
請求項(抜粋):
フォトダイオードと、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、を有し、
前記フォトダイオードは、半導体層を含み、
前記半導体層は、n型の領域と、p型の領域と、を有し、
前記n型の領域と、前記p型の領域とは、同一面に接して設けられ、
前記第1のトランジスタは、前記フォトダイオードによって生成された電気信号を転送する機能を有し、
前記第2のトランジスタは、前記転送された電気信号を増幅する機能を有し、
前記第1のトランジスタと前記第2のトランジスタとの間、及び、前記第1のトランジスタと前記フォトダイオードとの間には、絶縁層が設けられ、
前記第1のトランジスタは、酸化物半導体を有し、
前記n型の領域及び前記p型の領域の一方は、前記第1のトランジスタと重なることを特徴とする半導体装置。
IPC (3件):
H01L 27/146
, G02F 1/133
, G02F 1/136
FI (3件):
H01L27/14 C
, G02F1/1333
, G02F1/136
Fターム (39件):
2H092GA59
, 2H092GA62
, 2H092JA05
, 2H092JA25
, 2H092JA26
, 2H092KA03
, 2H092KA07
, 2H092KA08
, 2H092MA05
, 2H092MA08
, 2H092NA25
, 2H092PA06
, 2H189AA15
, 2H189HA16
, 2H189LA08
, 2H189LA10
, 2H189LA27
, 2H189LA31
, 4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118BA30
, 4M118CA02
, 4M118CA05
, 4M118CB01
, 4M118CB06
, 4M118CB07
, 4M118CB14
, 4M118DB09
, 4M118DD09
, 4M118DD12
, 4M118FA06
, 4M118FA08
, 4M118FA33
, 4M118FB03
, 4M118FB08
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118FB20
引用特許:
審査官引用 (8件)
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2011-029305
出願人:株式会社半導体エネルギー研究所
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特開昭64-050460
-
固体撮像装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-223634
出願人:ソニー株式会社
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