特許
J-GLOBAL ID：201303085010757804
極端紫外光源装置
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宇都宮 正明
, 渡部 温
, 柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-243380
公開番号（公開出願番号）：特開2013-033757
出願日： 2012年11月05日
公開日（公表日）： 2013年02月14日
要約：
【課題】ターゲットの軌道を擾乱させることなく、ドロップレットターゲットをレーザ照射位置に高速に供給する機構と、プラズマから発生したイオン(帯電したデブリ)を磁場の作用によりトラップする機構とを両立させる。【解決手段】極端紫外光源装置は、(i)内部で極端紫外光が生成されるチャンバと、(ii)チャンバ内にターゲット物質を噴射するターゲットノズルと、(iii)ターゲットノズルから噴射されるターゲット物質を帯電させる電荷供給装置と、(iv)電磁石、超伝導磁石、及び、永久磁石の内のいずれかを含み、チャンバ内にミラー磁場を形成する1組の磁石と、ターゲット物質の軌道において該ミラー磁場の磁束線が略直線状且つターゲット物質の進入方向に対して略平行となるように、補助的な磁場を形成する少なくとも1つの補助磁場形成装置とを含む磁場形成装置とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光源から出力されたレーザ光をターゲット物質に照射することにより、ターゲット物質をプラズマ化して極端紫外光を生成する極端紫外光源装置であって、
内部で極端紫外光が生成されるチャンバと、
前記チャンバ内にターゲット物質を噴射するターゲットノズルと、
前記ターゲットノズルから噴射されるターゲット物質を帯電させる電荷供給装置と、
電磁石、超伝導磁石、及び、永久磁石の内のいずれかを含み、前記チャンバ内にミラー磁場を形成する1組の磁石と、ターゲット物質の軌道において該ミラー磁場の磁束線が略直線状且つターゲット物質の進入方向に対して略平行となるように、補助的な磁場を形成する少なくとも1つの補助磁場形成装置とを含む磁場形成装置と、
を具備する極端紫外光源装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05G1/00 K
, H01L21/30 531S
2G085AA01
, 2G085AA04
, 2G085AA16
, 2G085BA05
, 2G085BA09
, 2G085BA19
, 2G085BB17
, 4C092AA06
, 4C092AA15
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 4C092BD05
, 4C092BD18
, 5F146GC12
, 5F146GC14
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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