特許
J-GLOBAL ID：201303085769265795

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、マスクブランクス及びパターン形成方法

発明者：
土村 智孝

土村 智孝 について

, 
滝沢 裕雄

滝沢 裕雄 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (15件)： 蔵田 昌俊 ,  高倉 成男 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  井関 守三 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-123573
公開番号（公開出願番号）：特開2013-122569
出願日： 2012年05月30日
公開日（公表日）： 2013年06月20日
要約：
【課題】高感度、高解像性(例えば、高い解像力、優れたパターン形状、小さいラインエッジラフネス(LER))、及び良好なドライエッチング耐性を満足したパターンを形成できる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、該膜を有するマスクブランクス、及び、パターン形成方法を提供すること。特に、電子線や極紫外線を使用した露光による微細な孤立パターンの形成において、高い解像力を示す感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】少なくとも1つのフェノール性水酸基を有する構造(P)と、少なくとも1つのフェノール性水酸基の水素原子が、酸架橋性基を含む環構造を有する基(S)で置換された構造(Q)とを含む化合物(A)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、前記酸架橋性基を含む環構造を有する基(S)が、多環構造を有する基、若しくは、ヒドロキシメチル基及び/又はアルコキシメチル基を含む環構造を有する基であることを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
少なくとも1つのフェノール性水酸基を有する構造(P)と、少なくとも1つのフェノール性水酸基の水素原子が、酸架橋性基を含む環構造を有する基(S)で置換された構造(Q)とを含む化合物(A)を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、前記酸架橋性基を含む環構造を有する基(S)が、多環構造を有する基、若しくは、ヒドロキシメチル基及び/又はアルコキシメチル基を含む環構造を有する基であることを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  C08F 12/22 ,  C09K 3/00
FI (4件)：
G03F7/038 601 ,  G03F7/004 503A ,  C08F12/22 ,  C09K3/00 K
Fターム (67件)：
2H125AE03P ,  2H125AE04P ,  2H125AE05P ,  2H125AE12P ,  2H125AE22P ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AL02 ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AM13P ,  2H125AM15P ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AM99P ,  2H125AN02P ,  2H125AN08P ,  2H125AN21P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN57P ,  2H125AN63P ,  2H125AN67P ,  2H125AN86P ,  2H125BA01P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB12 ,  2H125CB16 ,  2H125CC01 ,  2H125CC17 ,  2H125CD08P ,  2H125CD38 ,  4J100AB02Q ,  4J100AB07P ,  4J100AL08P ,  4J100BA02H ,  4J100BA03P ,  4J100BA11H ,  4J100BA15H ,  4J100BA58H ,  4J100BC43H ,  4J100BC43P ,  4J100BC53H ,  4J100BC54H ,  4J100BC73H ,  4J100BC83H ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA31 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100HA61 ,  4J100HC27 ,  4J100HC33 ,  4J100HC69 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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