特許
J-GLOBAL ID：201303086962970575
ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (14件)：
蔵田 昌俊
, 福原 淑弘
, 中村 誠
, 野河 信久
, 白根 俊郎
, 峰 隆司
, 幸長 保次郎
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 井関 守三
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
, 竹内 将訓
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-049145
公開番号（公開出願番号）：特開2012-150494
特許番号：特許第5315431号
出願日： 2012年03月06日
公開日（公表日）： 2012年08月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (A)下記一般式(1)で表される構成単位とエポキシ基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、(B)分子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物(但し、前記Aを除く)、(C)波長300nm以上の活性光線の照射により酸を発生する化合物、溶剤、及び、(E)塩基性化合物を含有し、前記(A)成分におけるエポキシ基を有する構成単位が下記一般式(3)又は(5)で表される単量体由来の単位であり、前記(A)成分におけるエポキシ基を有する構成単位の含有率が、(A)成分の樹脂を構成する全繰り返し単位中25〜40モル%であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物であり、スパッタリング法で形成された金属層を有する基板に塗布され、金属層上の膜の形成に使用されるポジ型感光性樹脂組成物。
一般式(1)に於いて、
R1は、水素原子、メチル基、ハロゲン原子又はシアノ基を表す。
R2及びR3は、それぞれ独立して、水素原子、直鎖状又は分岐状アルキル基を表す。
但し、R2及びR3が同時に水素原子の場合を除く。
R4は、置換されてもよい直鎖状、分岐状あるいは環状アルキル基、又はアラルキル基を表す。
R2とR4が連結して環状エーテルを形成してもよい。
一般式(3)及び(5)中、Xは2価の連結基を表す。
R7は、水素原子、メチル基又はハロゲン原子を表す。
R8〜R10及びR13〜R15は、それぞれ独立して、水素原子又はアルキル基を表す。
nは、1〜10の整数を表す。
IPC (3件)：
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/075 ( 200 6.01)
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/075 501
審査官引用 (2件)
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Ciba IRGACURE PAG103, 20051116
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Ciba IRGACURE PAG103, 20051116
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