特許
J-GLOBAL ID:201303087818673678
透過型X線発生装置及びそれを用いたX線撮影装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
渡辺 敬介
, 山口 芳広
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-189111
公開番号(公開出願番号):特開2013-051156
出願日: 2011年08月31日
公開日(公表日): 2013年03月14日
要約:
【課題】透過型ターゲットで反射した電子を有効利用することでX線発生効率を向上させることができる透過型X線発生装置及びそれを用いたX線撮影装置を提供する。【解決手段】電子通過路8と、ターゲット支持基板9a上に設けられた透過型ターゲット9cとを有し、電子通過路8を介して、電子を透過型ターゲット9cに照射してX線を発生させる透過型X線発生装置であって、透過型ターゲット9cが、ターゲット支持基板9aの中央領域に設けられており、透過型ターゲット9cで覆われていないターゲット支持基板9aの周縁領域の少なくとも一部が、透過型ターゲット9cから反射した電子が電子通過路8の内壁面に入射することにより生じるX線に対して、透過型ターゲット9cで覆われたターゲット支持基板9aの中央領域に比して高い透過性を有していることを特徴とする透過型X線発生装置。【選択図】図1
請求項(抜粋):
周囲を電子通過路形成部材で囲むことにより形成された電子通過路と、絶縁性のターゲット支持基板上に設けられた透過型ターゲットとを有し、
前記電子通過路を介して、電子を前記透過型ターゲットに照射してX線を発生させる透過型X線発生装置であって、
前記透過型ターゲットが、前記ターゲット支持基板の中央領域に設けられており、
前記透過型ターゲットで覆われていない前記ターゲット支持基板の周縁領域の少なくとも一部が、前記透過型ターゲットから反射した電子が前記電子通過路の内壁面に入射することにより生じるX線に対して、前記透過型ターゲットで覆われた前記ターゲット支持基板の中央領域に比して高い透過性を有していることを特徴とする透過型X線発生装置。
IPC (1件):
FI (3件):
H01J35/08 F
, H01J35/08 D
, H01J35/08 C
引用特許:
審査官引用 (9件)
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X線発生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-304039
出願人:三菱重工業株式会社
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X線発生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-167353
出願人:浜松ホトニクス株式会社
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X線管及びX線分析装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-196819
出願人:エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
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