特許
J-GLOBAL ID：201303089601729570

走査型プローブ顕微鏡の探針形状評価方法

発明者：
渡邉 将史

渡邉 将史 について

, 
百田 洋海

百田 洋海 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクサイエンス

株式会社日立ハイテクサイエンス について


代理人 (6件)： 濱田 百合子 ,  橋本 公秀 ,  吉田 将明 ,  久原 健太郎 ,  内野 則彰 ,  木村 信行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-002366
公開番号（公開出願番号）：特開2013-142586
出願日： 2012年01月10日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：
【課題】走査型プローブ顕微鏡において探針先端形状を評価する。【解決手段】針状構造を持つ探針形状検定サンプルにより探針先端形状を測定し、先端からの複数の距離における断面の半径を求め、それらを元に探針先端形状を円で近似したときの曲率半径を算出する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
探針の先端形状を走査型プローブ顕微鏡により形状測定して、該探針の先端の先鋭度の評価を行う探針形状評価方法において、 前記走査型プローブ顕微鏡に備えた前記探針の先端を、対向配置した評価用試料の表面に対して、相対的に接触または所定間隔に接近させる近接工程と、 前記探針の先端と前記評価用試料の表面との間に働く物理量を一定としつつ所定の走査を行う走査工程と、 前記評価用の試料の表面形状を取得するデータ取得工程と、 前記取得したデータのうち、前記探針先端から下ろした中心軸上の所定の高さ(h)及びその高さでの前記中心軸と測定した形状の外縁までの距離(r)を一組とするデータ組を、前記高さ(h)を変更した2以上抽出するデータ抽出工程と、 当該抽出データの前記高さ(h)および前記距離(r)より前記探針の先端を球状と近似した場合の曲率半径(Rtip)を算定する算定工程と、 を含むことを特徴とする探針形状評価方法。
IPC (1件)：
G01Q 40/02
FI (1件)：
G01Q40/02
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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