特許
J-GLOBAL ID：201103065135080835
原子間力顕微鏡の探針を特徴づけるための方法および構造
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-234068
公開番号（公開出願番号）：特開2011-089985
出願日： 2010年10月18日
公開日（公表日）： 2011年05月06日
要約：
【課題】互いに対向する二つの傾斜側壁を持つ特徴づけ構造によって原子間力顕微鏡の探針を特徴づけるための方法を得る。【解決手段】任意の高さ(h1、h2、h3)に対応する前記二つの傾斜側壁を分離する少なくとも一つの実際の側方距離(CD1、CD2、CD3)が既知である。探針(205)によって傾斜側壁(202、203)の表面をスキャンするステップ、なお、このスキャニングは、探針(205)が垂直にのみ振動しながら実行され、任意の高さに対して、二つの傾斜側壁(202、203)を分離する側方距離を測定するステップ、なお、この測定は、特徴づけ構造(200)の外形と探針(205)の外形のコンボリューションを取り込むものであり、そして測定側方距離および実際の側方距離(CD1、CD2、CD3)の関数として探針(205)の特徴的な寸法(D)を決定するステップからなる。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
特徴づけ構造(200)によって原子間力顕微鏡の探針(205)を特徴づけるための方法(100)であって、前記構造は、構造のサブストレートの表面の平面に対して二つの傾斜側壁(202、203)を持ち、前記傾斜側壁は相互に反対側に位置し、
構造のサブストレートの表面の平面に平行に、そして前記構造(200)の任意の高さ(h1、h2、h3)に対応して前記二つの傾斜側壁を分離する少なくとも一つの実際の側方距離(CD1、CD2、CD3)が既知であり、
前記方法が、
前記探針(205)によって前記構造(200)の前記傾斜側壁(202、203)の表面をスキャンする(102)ステップ、なお、前記にスキャンは、前記探針(205)が、構造のサブストレートの表面の平面に対して直交する垂直方向のみに振動しながら実行される、
前記任意の高さに対して、前記二つの傾斜側壁(202、203)を分離している、構造のサブストレートの表面の平面に平行な側方距離を測定する(102)ステップ、なお、前記測定は、前記特徴づけ構造(200)の外形と前記探針(205)の外形のコンボリューションを取り込む、そして
前記測定側方距離および前記実際の側方距離(CD1、CD2、CD3)の関数として前記探針(205)の特徴的な寸法(D)を決定する(103)ステップからなる、前記方法。
IPC (3件)：
G01Q 40/02
, G01Q 60/32
, G01B 21/02
G01Q40/02
, G01Q60/32
, G01B21/02 Z
2F069AA01
, 2F069AA49
, 2F069GG04
, 2F069GG62
, 2F069JJ04
, 2F069LL06
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (10件)
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