特許
J-GLOBAL ID：200903024457156792
探針形状評価用標準試料
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-220848
公開番号（公開出願番号）：特開2007-078679
出願日： 2006年08月14日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】 走査型プローブ顕微鏡は高分解能(数ナノメール以下)ではあるが、その分解能や誤差を保証することが難しい。また、探針の大きさや非対称性のためのアーティファクト(測定形状の歪曲、非対称性等)が存在する。用いたプローブ(鋭い探針)の形状を測定することが可能であれば、分解能や測定誤差を規定し、プローブ形状を考慮した真の形状を画像処理で抽出できる。 【解決手段】 ナノメートルサイズの探針の評価には、同等かそれ以下の大きさの分解能測定ツールが必要である。探針形状測定用の最小構造の大きさが100nm以下(典型的には図2に示す10nm)の標準試料を、測定に用いるプローブ顕微鏡で測定し、その画像データから分解能を導出する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
プローブ顕微鏡の探針形状評価用の標準試料であって、多層膜を選択性エッチングすることにより、線幅及び線間隔は、該多層膜の膜厚により規定され、線の高さは、該エッチングのエッチング量により規定されることを特徴とするプローブ顕微鏡の探針形状評価用の標準試料。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N13/10 D
, G01N1/00 102B
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (12件)
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