特許
J-GLOBAL ID:201303091387671939
TiO2を含有するシリカガラス
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
渡辺 望稔
, 三和 晴子
, 竹本 洋一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-174289
公開番号(公開出願番号):特開2013-241336
出願日: 2013年08月26日
公開日(公表日): 2013年12月05日
要約:
【課題】EUVL用露光装置の光学系部材として好適な熱膨張特性を有するTiO2-SiO2ガラスの提供。【解決手段】熱膨張係数が0ppb/°Cとなる温度が23±4°Cの範囲内にあり、熱膨張係数が0±5ppb/°Cとなる温度幅が5°C以上であり、仮想温度が850°C以下であり、TiO2含有量が3〜9質量%であり、F濃度が1000ppm以上であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。【選択図】なし
請求項(抜粋):
熱膨張係数が0ppb/°Cとなる温度が23±4°Cの範囲にあり、熱膨張係数が0±5ppb/°Cとなる温度幅が5°C以上であり、仮想温度が850°C以下であり、TiO2含有量が3〜9質量%であり、F濃度が1000ppm以上であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。
IPC (3件):
C03C 3/06
, C03B 20/00
, G02B 1/02
FI (3件):
C03C3/06
, C03B20/00 K
, G02B1/02
Fターム (60件):
4G014AH12
, 4G062AA04
, 4G062BB02
, 4G062CC07
, 4G062CC10
, 4G062DA08
, 4G062DB01
, 4G062DC01
, 4G062DD01
, 4G062DE01
, 4G062DF01
, 4G062EA01
, 4G062EA10
, 4G062EB01
, 4G062EC01
, 4G062ED01
, 4G062EE01
, 4G062EF01
, 4G062EG01
, 4G062FA01
, 4G062FB03
, 4G062FC01
, 4G062FD01
, 4G062FE01
, 4G062FF01
, 4G062FG01
, 4G062FH01
, 4G062FJ01
, 4G062FK01
, 4G062FL01
, 4G062GA01
, 4G062GB01
, 4G062GC01
, 4G062GD01
, 4G062GE02
, 4G062HH01
, 4G062HH03
, 4G062HH05
, 4G062HH07
, 4G062HH09
, 4G062HH11
, 4G062HH13
, 4G062HH15
, 4G062HH17
, 4G062HH20
, 4G062JJ01
, 4G062JJ03
, 4G062JJ05
, 4G062JJ07
, 4G062JJ10
, 4G062KK01
, 4G062KK03
, 4G062KK05
, 4G062KK07
, 4G062KK10
, 4G062MM02
, 4G062NN01
, 4G062NN16
, 4G062NN30
, 4G062NN35
引用特許: