特許
J-GLOBAL ID：201303092115153374

湿度センサ

発明者：
道山 勝教

道山 勝教 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (3件)： 矢作 和行 ,  野々部 泰平 ,  久保 貴則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-089549
公開番号（公開出願番号）：特開2013-217806
出願日： 2012年04月10日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】高湿側におけるセンサ感度の線形性劣化を抑制することができる湿度センサを提供する。【解決手段】基板(20)と、互いに対向するように、基板の共通する一面(20a)に配置された一対の電極(31,32)、電極を覆うように一面上に配置され、水分による腐食から電極を保護する保護膜(33)、保護膜上に配置された感湿膜(34)、を有する湿度検出部(30)と、を備える。全ての電極は、一面に対して膜が多層に配置された多層構造を有するとともに、最上層は導電材料を用いて形成され、且つ、保護膜に接触する層のうち、少なくとも1層は水分に対する腐食性を有する導電材料を用いて形成されている。また、基板の一面に膜が1層分配置されてなる下地部(38)と、該下地部上に膜が少なくとも1層分配置されてなる上地部(39)と、をそれぞれ有している。さらに、一面に直交する断面形状がそれぞれ独立して凸形状をなしている。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
基板(20)と、 互いに対向するように、前記基板の共通する一面(20a)に配置された一対の電極(31,32)と、該電極を覆うように前記一面上に配置され、水分による腐食から前記電極を保護する保護膜(33)と、前記電極及び前記電極間を覆うように、前記保護膜上に配置された感湿膜(34)と、を有する湿度検出部(30)と、を備え、 全ての前記電極は、 前記一面に対して膜が多層に配置された多層構造を有するとともに、最上層は導電材料を用いて形成され、且つ、前記保護膜に接触する層のうち、少なくとも1層は水分に対する腐食性を有する導電材料を用いて形成されており、 前記基板の一面に前記膜が1層分配置されてなる下地部(38)と、該下地部上に前記膜が少なくとも1層分配置されてなる上地部(39)と、をそれぞれ有し、 前記一面に直交する断面形状がそれぞれ独立して凸形状をなしていることを特徴とする湿度センサ。
IPC (2件)：
G01N 27/04 ,  G01N 27/22
FI (2件)：
G01N27/04 B ,  G01N27/22 A
Fターム (12件)：
2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AF07 ,  2G060AF10 ,  2G060AG10 ,  2G060BB03 ,  2G060BB10 ,  2G060BD04 ,  2G060HA07 ,  2G060HC10 ,  2G060JA02 ,  2G060KA04
引用特許：
審査官引用 (6件)
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