特許
J-GLOBAL ID：201303093255245267

研磨装置

発明者：
赤木 芳幸

赤木 芳幸 について

, 
里見 義弘

里見 義弘 について


出願人/特許権者：
浜井産業株式会社

浜井産業株式会社 について


代理人 (1件)： 森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-038096
公開番号（公開出願番号）：特開2013-173194
出願日： 2012年02月24日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
要約：
【課題】ピンの固定構造、および、保持構造を簡易化し、コストダウン、長期性能保持およびカラー交換が容易な固定構造の研磨装置を提供する。【解決手段】押さえ部13の支持孔132にピン体11の細径部114が挿通された状態で、ねじ15が押さえ部13およびスペーサ14をギア基体部20に固定することにより、ピン体11を上下で固定して横方向の強度を高めた歯部10を有するサンギアおよびインターナルギアにより駆動される研磨装置とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ギア基体部に複数のピン状の歯部を設けたサンギアと、ギア基体部に複数のピン状の歯部を設けたインターナルギアと、の間に、複数の歯によるキャリア歯部が外周に形成されるワークキャリアを噛み合わせておき、このワークキャリアのワーク保持孔に挿入されたワークの表裏両面を下定盤と上定盤との間に挟み込んだ状態で、サンギアとインターナルギアとを回転させてワークキャリアを自転または公転させるとともに、上定盤または下定盤の少なくとも一方をワークキャリアに対して相対的に回転させてワークをラッピングまたはポリッシングする研磨装置であって、 歯部は、ギア基体部の嵌入孔に入れられるピン嵌入部、円柱体であるピン軸支部およびこのピン軸支部の先端から突出する細径部を有するピン体と、ピン軸支部の先端および細径部を突出させた状態でピン軸支部に遊挿される筒状のカラーと、ピン体の先端の細径部を軸支してカラーの抜け止めを行いつつピン体を嵌入孔側へ押さえる押さえ部と、押さえ部をギア基体部に固定する固定部と、を備えることを特徴とする研磨装置。
IPC (1件)：
B24B 37/08
FI (1件)：
B24B37/04 F
Fターム (10件)：
3C058AA07 ,  3C058AA18 ,  3C058AB01 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058DA06 ,  3C058DA18
引用特許：
出願人引用 (4件)
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